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一种应用于金刚石衬底的精磨工艺
本发明提出了一种应用于金刚石衬底的精磨工艺, 步骤包括:将离子纳米流体均匀涂覆于蜂窝复合磨垫表面, 形成初始润滑层, 再将至少四个金刚石衬底排列放置于初始润滑层上并通过研磨装置施加预压力;持续通入离子纳米流体, 提高对金刚石衬底的施加压力至...
一种钢带研磨抛光设备
本发明公开了一种钢带研磨抛光设备, 涉及抛光机床的技术领域, 包括安装立架, 安装立架内部设有上料区域和研磨区域;研磨区域内设有上横架和下横架, 上横架和下横架分别由第一驱动装置和第二驱动装置驱动垂直移动;上横架和下横架上均固定安装有驱动电...
一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备
本发明提供一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备, 抛光液供应装置包括基座组件、摆臂组件、抛光液喷嘴和喷嘴座;喷嘴座设置在摆臂下方, 喷嘴座底部设置有冲洗喷嘴, 用于自上而下朝向抛光垫喷射清洗液, 其中, 冲洗喷嘴为扇形喷嘴, ...
一种在线检测抛光液状态的护圈及检测方法
本发明公开了一种在线检测抛光液状态的护圈及检测方法, 属于晶圆抛光技术领域。在线检测抛光液状态的护圈, 包括护圈本体, 护圈本体的下方设置有抛光垫, 抛光垫固定在转台上, 抛光垫的上方设置有抛光液箱, 护圈本体通过固定座与连接座连接, 连接...
一种龙门导轨磨床轨道精确移动传输结构
本发明涉及高端数控机床制造技术领域, 特别涉及一种龙门导轨磨床轨道精确移动传输结构, 包括机架、龙门架、工作台、支撑座以及传输结构, 所述传输结构包括联动组件以及直动组件, 本发明一种龙门导轨磨床轨道精确移动传输结构通过机架作为基础结构提供...
一种柔性研磨器及其加工方法
本发明涉及精密机械加工技术领域, 尤其是指一种柔性研磨器及其加工方法, 该柔性研磨器包括十字万向头、压力控制机构和研磨组件, 所述十字万向头与压力控制机构可转动连接;所述压力控制机构包括上壳体、下壳体、支撑轴和平衡导向组件, 所述上壳体和下...
一种线轨专用磨床工件固定盘
本发明属于工件固定技术领域, 具体涉及一种线轨专用磨床工件固定盘, 包括底座;吸附机构, 所述吸附机构包括沿竖直方向滑动安装在底座上的升降架, 所述升降架的上转动安装有转动架, 所述转动架上滑动安装有两个吸附组件;支撑机构, 所述支撑机构包...
一种用于市政管道施工的顶管施工管道定位装置
本发明公开一种用于市政管道施工的顶管施工管道定位装置, 包括:底板, 底板的顶面安装有框架;夹持组件, 夹持组件安装在底板的顶面, 夹持组件上设置有两组夹持工位;承载组件, 承载组件设置有两组;平面移动组件, 平面移动组件安装在框架上, 平...
一种传动齿轮生产用外圆磨床夹持装置
本发明涉及齿轮夹持装置技术领域, 且公开了一种传动齿轮生产用外圆磨床夹持装置, 包括工作台, 所述工作台的顶部固定连接有电动滑轨, 所述电动滑轨的输出端安装有打磨台, 所述电动滑轨的输出端安装有夹持台, 所述夹持台的内壁转动连接有转盘, 所...
晶圆表面缺陷的检测方法、装置及半导体制造系统
本申请提供了一种晶圆表面缺陷的检测方法、装置及半导体制造系统, 涉及集成电路制造技术领域, 本申请在晶圆加工的不同工艺阶段, 对目标晶圆进行表面扫描, 分别生成与各工艺阶段对应的颗粒分布图;其中, 各颗粒分布图用于表征工艺引入的颗粒, 以及...
补偿垫片打磨去除量自动测量装置及其方法
本发明属于补偿垫片打磨技术领域, 公开了一种补偿垫片打磨去除量自动测量装置及其方法, 补偿垫片打磨去除量自动测量装置包括测量设备、控制箱和上位机, 包括测量模组、激光传感器和限位工装, 待测量垫片限位固定于限位工装上, 测量模组设置有X轴滑...
一种数控系统的进给倍率控制方法
本申请涉及数控控制技术领域, 具体涉及一种数控系统的进给倍率控制方法。该方法包括:获取每个时刻的电流、功率和振动幅度;基于采集参数和砂轮变化特征以及进给速度获取磨损速率;在增速区间内基于磨损速率变化确定最优进给速度;基于当前时刻和对应增速区...
一种抛光垫清洁装置和清洁方法
本发明提供一种抛光垫清洁装置和清洁方法, 涉及化学机械抛光技术领域, 装置包括清洁模块、连接组件、驱动机构和铝合金桁架, 驱动机构安装在铝合金桁架上, 连接组件与驱动机构相连, 清洁模块包括传动机构和圆锥形清洁块, 传动机构与连接组件相连,...
一种金属铸件浇口修整装置
本发明公开了一种金属铸件浇口修整装置, 包括:浇口修整单元, 其包括设置在修整机柜一侧的驱动轴以及套设在驱动轴上的修整砂轮;砂轮修复单元, 其包括滑动设置机柜一侧的移动板, 所述移动板远离机柜的一侧转动连接有转杆, 所述转杆上固定套设有修复...
一种喷丸覆盖率样板生成方法、装置、设备、介质及程序
本发明公开了一种喷丸覆盖率样板生成方法、装置、设备、介质及程序。该方法包括:根据弹丸的半径和模拟样板尺寸, 计算需要的理论喷丸数量;以模拟样板为当前喷丸样板, 以理论弹丸数量为当前喷丸数量, 在当前喷丸样板中进行与当前喷丸数量匹配的模拟喷丸...
一种基于机器视觉的阀门铸件浇口水射流切割方法
本发明涉及一种基于机器视觉的阀门铸件浇口水射流切割方法, 基于机器视觉的阀门铸件浇口水射流切割的设备包括机械臂自动上料装置、多角度浇口切割变位夹具、切割部位识别装置和三轴水刀切割机床;将阀门铸件固定在专用的托盘上, 使阀门铸件以标准化姿态固...
一种通用型发动机切割保护装置及切割方法
本发明提供一种通用型发动机切割保护装置, 包括旋转固定工装和保护工装, 所述旋转固定工装包括底座, 所述底座上转动设置滚轮, 所述滚轮上设置固定工装, 所述滚轮用于直接支撑发动机燃烧室或支撑固定工装, 所述固定工装用于固定发动机喷管的两端,...
一种高层建筑作业机器人
本发明公开了一种高层建筑作业机器人, 属于工程施工技术领域, 包括基座, 基座上设有机械臂、驱动机械臂水平移动的驱动机构及沿墙面垂直移动的升降机构, 机械臂端部安装喷砂枪, 喷砂枪两侧设测距传感器, 基座上装有风向风速传感器;还包括建模模块...
一种变速箱齿轮加工用毛刺处理设备
本发明公开了一种变速箱齿轮加工用毛刺处理设备, 涉及齿轮加工技术领域, 包括受驱动电机驱动同时进行自转和公转的从动齿轮、跟随从动齿轮公转并在插入喷砂箱时同步自转且用以定位变速箱齿轮的移动组件以及弹性悬挂于喷砂箱上方用以切换移动组件对变速箱齿...
一种整体壁板口框结构预弯应力精准施加装置及方法
本发明属于大型飞机整体壁板喷丸成形工装领域, 具体是一种整体壁板口框结构预弯应力精准施加装置及方法。包括:预弯凸模垫片, 其外形与预弯后壁板口框结构外凸外形一致, 直接覆盖在预弯曲变形后的壁板口框上, 预弯凹模垫片, 其外形与预弯后壁板口框...
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