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最新专利技术
  • 一种液晶聚合物/氧化硅复合薄膜及其制备方法、太阳能电池背板
    一种液晶聚合物/氧化硅复合薄膜及其制备方法、太阳能电池背板_宁波聚嘉新材料科技有限公司_202510936881.6
    本发明涉及高分子材料技术领域，具体而言，涉及一种液晶聚合物/氧化硅复合薄膜及其制备方法、太阳能电池背板；液晶聚合物的制备方法包括：将对羟基苯甲酸、2‑羟基‑6‑萘甲酸、苯并咪唑‑5, 6‑二甲酸、对苯二酚与酰基化试剂、催化剂混合得到反应混合...
    2026-02-26
  • 一种回收钌残靶制备钌靶材的方法
    一种回收钌残靶制备钌靶材的方法_河南东微电子材料有限公司_202511164733.3
    本发明提供一种回收钌残靶制备钌靶材的方法，属于靶材领域，上述方法包括将钌残靶与对应的背板进行解绑操作，以使钌残靶与背板分离；进而在钌残靶完成焊接层金属清除的情况下，将钌残靶切割成块状；并将块状钌残靶焊接成钌电极棒；进一步将钌电极棒熔炼成钌锭...
    2026-02-26
  • 一种高纯度溅射靶材生产工艺
    一种高纯度溅射靶材生产工艺_上海郑璞金属材料有限公司_202511574104.8
    一种高纯度溅射靶材生产工艺，属于半导体材料和薄膜沉积技术领域，采用防氧化提纯、铜基适配热等静压、梯度晶粒调控、界面匹配焊接、防氧化后处理等一系列步骤，充分强化铜材的特性，针对性解决缺陷，获得适用于12英寸级以上半导体芯片互连层、液晶显示器电...
    2026-02-26
  • 边缘磁场装置及半导体加工设备
    边缘磁场装置及半导体加工设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410668900.7
    本发明提供一种边缘磁场装置及半导体加工设备，应用于半导体加工设备，包括磁体结构和磁场调节结构，其中，磁体结构设置于半导体加工设备的工艺腔室的侧壁周围，用于在工艺腔室中形成磁场；磁场调节结构包括具有预设磁导率的导磁介质，导磁介质设置于磁体结构...
    2026-02-26
  • 一种核反应堆用抗氦致损伤耐磨涂层及制备方法
    一种核反应堆用抗氦致损伤耐磨涂层及制备方法_西南交通大学_202510953609.9
    本发明涉及核反应堆材料技术领域，公开了一种核反应堆用抗氦致损伤耐磨涂层及制备方法；该方法包括：清洗奥氏体不锈钢基体；在真空度≤2×10‑3Pa条件下进行反溅射等离子清洗；Ar气氛中预溅射FeCrAl靶材去除杂质；Ar/N2混合气氛中磁控溅射...
    2026-02-26
  • 一种基于非硅衬底的低温高性能PZT薄膜沉积工艺
    一种基于非硅衬底的低温高性能PZT薄膜沉积工艺_合肥领航微系统集成有限公司_202510983809.9
    本发明提供一种基于非硅衬底的低温高性能PZT薄膜沉积工艺，包括：取一片晶圆衬底，所述晶圆衬底具有相对的正面与反面；利用磁控溅射工艺在所述晶圆衬底的正面沉积一层可降低后续膜层沉积温度的第一buffer层；以及在所述第一buffer层的表面沉积...
    2026-02-26
  • 一种提升刀具使用寿命的涂层及制备方法与应用
    一种提升刀具使用寿命的涂层及制备方法与应用_中航贵州飞机有限责任公司_202511108007.X
    本发明公开一种提升刀具使用寿命的涂层及制备方法与应用，所述涂层包括有从内至外依次设置于刀具基体上连接层、过渡层和功能层，其中，所述连接层为Cr层，所述过渡层为WC层，而所述功能层为WC‑DLC层，所述Cr层厚度为0.7μm～0.9μm，所述...
    2026-02-26
  • 一种具有优异耐磨性能的陶瓷涂层及其制备方法与应用
    一种具有优异耐磨性能的陶瓷涂层及其制备方法与应用_北京科技大学_202511177428.8
    本发明提供一种具有优异耐磨性能的陶瓷涂层及其制备方法与应用，涉及陶瓷涂层制备技术领域，所述陶瓷涂层由Ti、Mo、B、N元素组成，其中Mo元素的含量范围为16.1‑36.8 at.%。本发明还提供了所述陶瓷涂层的制备方法，包括步骤：对基片进行...
    2026-02-26
  • 一种多孔的磁控溅射电致变色薄膜及其制备方法和应用
    一种多孔的磁控溅射电致变色薄膜及其制备方法和应用_浙江大学_202511226376.9
    本发明公开了一种多孔的磁控溅射电致变色薄膜及其制备方法和在制作电致变色储能器件中的应用，可解决目前存在的电致变色薄膜变色的响应时间长、循环稳定性低等问题。制备方法包括：化学浴沉积形成氧化钨前驱体薄膜，氧化钨前驱体薄膜220℃以下烘干后即用于...
    2026-02-26
  • 用于反应器系统的激光器对准夹具
    用于反应器系统的激光器对准夹具_ASMIP私人控股有限公司_202511129227.0
    一种用于反应器系统的激光器对准夹具，可以用于对准反应器系统的部件以允许将薄膜均匀沉积到衬底上。激光器对准夹具可以包括：盖组件；以及多个激光器和传感器组件。激光器对准夹具可以对准至少：流动控制环、基座，以及反应器系统的侧壁。
    2026-02-26
  • 一种薄膜沉积微纳加工装置及工艺
    一种薄膜沉积微纳加工装置及工艺_信阳市谷麦光电子科技有限公司_202511223291.5
    本发明属于薄膜沉积技术领域，尤其公开了一种薄膜沉积微纳加工装置及工艺。加工装置包括沉积箱，所述沉积箱的底部内壁上固定安装有安装台，所述安装台的顶部中心位置转动安装有靶座，所述安装台的底部安装有电机。本发明通过设有喷气清理组件，在靶材使用前，...
    2026-02-26
  • 一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积的进料系统
    一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积的进料系统_四川省机械研究设计院(集团)有限公司_202511577584.3
    本发明涉及电子束气相沉积技术领域，具体涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积的进料系统，包括：转架，转动连接若干工装座，发动机叶片设于工装座上并同步自转；公转组件，包括公转驱动器和公转杆，公转杆连接转架并带动转架公转；自转组件，包括自...
    2026-02-26
  • 可实现原位退火处理的PVD设备及其控制方法
    可实现原位退火处理的PVD设备及其控制方法_浙江晟霖益嘉科技有限公司_202511187556.0
    本发明公开了一种可实现原位退火处理的PVD设备及其控制方法，所述PVD设备包括装载腔、加热除气腔、预清洗腔、工艺腔、中转腔和冷却腔，所述装载腔、加热除气腔、清洗腔、工艺腔和冷却腔围绕中转腔布置，并通过共享真空系统维持基础真空，所述冷却腔中设...
    2026-02-26
  • 聚酰亚胺材料的沉积
    聚酰亚胺材料的沉积_ASMIP私人控股有限公司_202510698812.6
    本公开涉及用于制造半导体器件的方法和装置。更具体地，本公开涉及用于在衬底上沉积聚酰亚胺材料层的方法和装置。该方法包括在反应室中提供衬底，在反应室中提供第一气相前体，以及在反应室中提供第二气相前体。
    2026-02-26
  • 晶圆表面处理方法及等离子体增强原子层沉积设备
    晶圆表面处理方法及等离子体增强原子层沉积设备_浙江求是创芯半导体设备有限公司_202511134522.5
    本申请公开了一种晶圆表面处理方法及等离子体增强原子层沉积设备，晶圆表面处理方法包括如下步骤：加热反应室至第一温度，对晶圆表面进行干燥；通入氩气，对氩气进行电离，生成氩的等离子体；通入含氢气体，对含氢气体进行电离，生成氢的等离子体；待反应室压...
    2026-02-26
  • 沉积掩模以及电子装置或电气装置
    沉积掩模以及电子装置或电气装置_三星显示有限公司_202510680124.7
    提供了一种沉积掩模以及电子装置或电气装置。沉积掩模包括：基底，包括多个单元区域、将多个单元区域分隔的掩模唇缘区域和在多个单元区域外部的外框区域；掩模膜，包括与多个单元区域对应地在基底上的第一无机膜；以及翘曲补偿图案，包括与外框区域对应地在基...
    2026-02-26
  • 新能源汽车电动压缩机核心部件表面梯度强化制备工艺
    新能源汽车电动压缩机核心部件表面梯度强化制备工艺_江苏蒙恩涵能源科技有限公司_202511280770.0
    本发明公开了新能源汽车电动压缩机核心部件表面梯度强化制备工艺，涉及新能源汽车制造领域，该工艺包括以下组成部分：活塞基体预处理、过渡层制备、工作层制备和激光微织构加工；本发明通过多维度的创新技术手段，全面提升了新能源汽车电动压缩机核心部件的性...
    2026-02-26
  • 一种石墨烯-金刚石复合涂层及其制备方法
    一种石墨烯-金刚石复合涂层及其制备方法_中国科学院宁波材料技术与工程研究所_202511605709.9
    本发明公开了一种石墨烯‑金刚石复合涂层及其制备方法，该石墨烯‑金刚石复合涂层的制备方法，包括：对衬底表面进行研磨粗化处理，在粗化后的衬底上超声植晶，然后通过CVD方法形成金刚石涂层；通过磁控溅射方法在金刚石涂层表面沉积一层过渡金属层，所述过...
    2026-02-26
  • 一种新型碳化铬涂层设备及方法
    一种新型碳化铬涂层设备及方法_成都工具研究所有限公司_202511290797.8
    本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，公开了一种新型碳化铬涂层设备及方法，其设备包括加热系统、反应沉积系统、气体控制系统、压力控制系统、气体搅拌分散系统和氯化反应罐；所述反应沉积系统包括带压力检测组件与温度检测组件的反应沉积室；所述反应沉积室...
    2026-02-26
  • 一种连续纤维增强陶瓷基复合材料的激光化学气相增材制造设备及其制造方法
    一种连续纤维增强陶瓷基复合材料的激光化学气相增材制造设备及其制造方法_西北工业大学宁波研究院_202510957616.6
    本发明公开了一种连续纤维增强陶瓷基复合材料的激光化学气相增材制造设备及其制造方法；制造方法中，前驱体原料经蒸发与气体混合后送入气相反应腔体，连续激光聚焦于腔体内纤维衬底，实现陶瓷基体的原位沉积；工作台通过多轴移动实现分层构建，逐层沉积制得三...
    2026-02-26
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