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最新专利技术
  • 一种连续纤维增强陶瓷基复合材料的激光化学气相增材制造设备及其制造方法
    一种连续纤维增强陶瓷基复合材料的激光化学气相增材制造设备及其制造方法_西北工业大学宁波研究院_202510957616.6
    本发明公开了一种连续纤维增强陶瓷基复合材料的激光化学气相增材制造设备及其制造方法；制造方法中，前驱体原料经蒸发与气体混合后送入气相反应腔体，连续激光聚焦于腔体内纤维衬底，实现陶瓷基体的原位沉积；工作台通过多轴移动实现分层构建，逐层沉积制得三...
    2026-02-26
  • 一种提升12寸LTO背封膜厚均一性的方法
    一种提升12寸LTO背封膜厚均一性的方法_杭州中欣晶圆半导体股份有限公司_202510968442.3
    本发明涉及半导体材料技术领域，具体涉及一种提升12寸LTO背封膜厚均一性的方法，包括以下步骤：(1)加工前将已完成双面抛光加工的硅晶片洗净备用；(2)将硅晶片送入机台进行SiO2成膜反应，反应过程中保证O2充分甚至过量，使SiH4完全反应；...
    2026-02-26
  • 进气系统及炉管设备
    进气系统及炉管设备_盛美半导体设备(上海)股份有限公司_202410685462.5
    本申请公开了一种进气系统及炉管设备，涉及半导体设备技术领域，一种进气系统，包括：第一进气管路；预流管路；第二进气管路，与所述第一进气管路和所述预流管路通过第一管路切换装置连接，所述第一管路切换装置配置为使得所述第二进气管路能够与所述第一进气...
    2026-02-26
  • 进气结构、温度控制方法及半导体设备
    进气结构、温度控制方法及半导体设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410692942.4
    本申请公开了一种进气结构、温度控制方法及半导体，涉及半导体领域。一种进气结构，包括：进气块、顶盘、加热组件和冷却组件，顶盘设在工艺腔室的上盖上，顶盘具有进气通道，且顶盘内设有第一冷却通道；进气块设于顶盘上，且进气块内设有第二冷却通道，进气块...
    2026-02-26
  • 气体分配装置和半导体工艺腔室
    气体分配装置和半导体工艺腔室_北京北方华创微电子装备有限公司_202410693799.0
    本发明公开一种气体分配装置和半导体工艺腔室，所述气体分配装置包括输气组件和装置本体，所述装置本体为环状结构，所述装置本体的第一端口的内径大于所述装置本体的第二端口的内径，所述第一端口与所述第二端口相背，在所述第二端口的中心至所述第一端口的中...
    2026-02-26
  • 喷淋头组件、包括其的半导体处理系统及相关方法
    喷淋头组件、包括其的半导体处理系统及相关方法_ASMIP私人控股有限公司_202510686339.X
    公开了喷淋头组件和包括喷淋头组件的半导体处理系统。所公开的喷淋头组件包括盖、喷淋头板和设置在盖和喷淋头板之间的环形流动环。公开了用于在执行过程时调节进出反应室的气体流的方法。所公开的方法包括将环形流动环定位在第一位置和第二位置处。
    2026-02-26
  • 一种晶圆薄膜沉积工艺及设备
    一种晶圆薄膜沉积工艺及设备_江苏纳沛斯半导体有限公司_202511214866.7
    本发明公开了一种晶圆薄膜沉积工艺及设备，利用ALD技术生长一个超薄、均匀的底层，为后续沉积提供理想的成核表面，然后利用PECVD技术快速沉积主体薄膜，最终通过一个原位等离子体处理步骤来进一步增强薄膜性能。该方法兼具ALD的优异覆盖性和PEC...
    2026-02-26
  • 化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法
    化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法_湖南顶立科技股份有限公司_202511553518.2
    本发明公开了一种化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法。该系统包括内壁均设有保温层且串联连接的前驱体罐、一级缓冲罐和二级缓冲罐，其中，前驱体罐内通过添加导热惰性材料改善前驱体TaCl5粉末的导热均匀性，实现稳定升华；一级缓冲罐内...
    2026-02-26
  • 衬底处理方法、半导体器件的制造方法、记录介质及衬底处理装置
    衬底处理方法、半导体器件的制造方法、记录介质及衬底处理装置_株式会社国际电气_202510241358.1
    本发明涉及衬底处理方法、半导体器件的制造方法、记录介质及衬底处理装置。提供能抑制成膜中的规定元素的脱离、将膜中的规定元素维持在所希望组成比率的技术。将包含下述(a)(b)(c)(d)并且在(a)及(b)之后且(d)之前执行(c)的循环执行规...
    2026-02-26
  • 射频控制装置和方法、半导体工艺设备
    射频控制装置和方法、半导体工艺设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410661694.7
    本发明提供一种射频控制装置和方法、半导体工艺设备，该装置包括射频连接单元，用于将射频源的射频端和接地端与半导体工艺设备的工艺腔室中的晶舟电连接，且使晶舟中各相邻的两个舟片的极性相反；阻抗控制单元，连接在射频连接单元与射频源的接地端之间，且能...
    2026-02-26
  • 薄膜沉积设备
    薄膜沉积设备_江苏首芯半导体科技有限公司_202511206172.9
    本申请涉及半导体技术领域，提供一种薄膜沉积设备，至少有利于在晶圆上形成质量较高且厚度较厚的膜层。薄膜沉积设备包括：腔体，腔体包括相互连接的上腔体和下腔体；载台，载台设置于腔体内，载台的表面用于放置晶圆；隔离部件，隔离部件设置于腔体内，隔离部...
    2026-02-26
  • 一种光伏用连续镀膜系统
    一种光伏用连续镀膜系统_江苏中胜微科技有限公司_202511221409.0
    本申请涉及一种光伏用连续镀膜系统。涉及光伏领域，特别涉及进舟腔、预热腔、本征腔、掺杂腔、冷却腔，进舟腔、冷却腔一端均设有大气门阀；分别设于进舟腔、预热腔、本征腔、掺杂腔、冷却腔之间的隔离阀；分别开设于进舟腔、本征腔、掺杂腔、冷却腔上的排气口...
    2026-02-26
  • 一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统
    一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统_华芯半导体科技有限公司_202511596204.0
    本发明公开了一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统，本发明涉及干式真空设备技术领域，该干式真空系统包括地台、机箱、柔性金属管、真空机构和辅助机构，真空机构包括箱体和底脚，机箱、底脚、辅助机构均与地台固定连接，箱体上设有气孔，辅助机构...
    2026-02-26
  • 一种蒙烯单晶铜丝材料及其制备方法
    一种蒙烯单晶铜丝材料及其制备方法_北京石墨烯研究院_202511604157.X
    本发明提供一种蒙烯单晶铜丝材料及其制备方法。利用立式卷对卷技术，将铜丝紧固于下方放卷腔室的放卷转轴，使其始端自下而上穿过管式炉体并固定于上方收卷腔室的收卷转轴，在收卷端施加特定范围的张力，以10 mm/min‑100 mm/min的卷绕速度...
    2026-02-26
  • 一种表面粗化的镀镍导电微球及其制备方法和应用
    一种表面粗化的镀镍导电微球及其制备方法和应用_合肥中聚和成光电材料股份有限公司_202511596867.2
    本发明属于导电微球制备技术领域，具体涉及一种表面粗化的镀镍导电微球及其制备方法和应用。制备过程包括前处理使聚合物微球表面含镍离子、镍离子还原为镍纳米颗粒、微球活化以及化学镀步骤。本发明采用在微球表面还原镍纳米颗粒的方式增大导电微球的比表面积...
    2026-02-26
  • 镀镍镁锂合金及镁锂合金表面处理方法
    镀镍镁锂合金及镁锂合金表面处理方法_航天科工防御技术研究试验中心_202511008901.X
    本申请提供一种镀镍镁锂合金及镁锂合金表面处理方法。镁锂合金表面处理方法，包括：提供镁锂合金；镁锂合金由以下质量百分比的物质组成：9.5‑10.5％的Li；2.5‑3.5％的Al；2.5‑3.5％或0.8‑1.8％的Zn；0.50％以内的Si...
    2026-02-26
  • 一种高磷化学镀镍磷的工艺及其制备的超耐腐蚀和耐磨的阀门
    一种高磷化学镀镍磷的工艺及其制备的超耐腐蚀和耐磨的阀门_温州聚恩辈实业有限公司_202511304662.2
    本公开涉及化学镀领域，具体为一种高磷化学镀镍磷的工艺及其制备的超耐腐蚀和耐磨的阀门；该工艺包括以下步骤：步骤1：对工件进行打磨，得到经打磨后的工件；步骤2：对打磨后的工件进行预处理，得到经预处理后的工件；步骤3：制备高磷化学镀镍磷的镀液；步...
    2026-02-26
  • 一种提高不锈钢表面疏水性的处理方法
    一种提高不锈钢表面疏水性的处理方法_重庆臻宝半导体材料有限公司_202511222225.6
    本发明涉及一种不锈钢表面的处理方法，具体包括以下步骤：先对不锈钢表面预改性处理，使不锈钢表面羟基化；再浸入十二烷基硫酸钠水溶液中，用水清洗后干燥后浸入硬脂酸和NN‑二环己基碳二亚胺混合的乙醇溶液中反应；再依次经正己烷、丙酮、去离子水清洗，烘...
    2026-02-26
  • 铝合金线材及其处理方法
    铝合金线材及其处理方法_浙江丰成智造股份有限公司_202511089394.7
    本发明公开了一种铝合金线材及其处理方法，涉及金属线材处理技术领域。本发明中设计的金属线材的处理方法，通过依次进行脱脂、表面活化、磷化和钝化处理，严格控制处理参数并设计特定配方的脱脂液、活化液、磷化液和钝化液，最终处理完成后会在铝合金线材表面...
    2026-02-26
  • 一种镀锌钢管钝化膜及其制备方法
    一种镀锌钢管钝化膜及其制备方法_钢研工程设计有限公司_202410697547.5
    本发明涉及一种镀锌钢管钝化膜及其制备方法，属于金属表面腐蚀与防护领域，用以解决现有镀锌钢管钝化膜膜层耐黑变性能差和固化不完全的问题。一种镀锌钢管钝化膜的制备方法，包括：镀锌钢管在冷却水槽中通过冷却液A进行冷却，表面形成一层致密的镍层；镀锌钢...
    2026-02-26
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