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最新专利技术
  • 半导体加工设备及其加工方法
    半导体加工设备及其加工方法_明德润和机械制造(天津)有限公司_202511960869.5
    本发明涉及半导体加工技术领域，尤其为半导体加工设备及其加工方法，本发明通过创新的跟随式检测机构实现了对CMP抛光过程高效、可靠的原位实时监测，具体而言，嵌入研磨垫的窗口组件每随研磨台旋转一周，离合式触发组件便会在窗口运动至检测位时自动启动，...
    2026-03-28
  • 晶圆加工装置、方法、电子设备及计算机介质
    晶圆加工装置、方法、电子设备及计算机介质_华海清科(北京)科技有限公司_202610083727.3
    本申请提供了一种晶圆加工装置、方法、电子设备及计算机介质，属于半导体制造技术领域，该晶圆加工装置，包括：晶圆抛光组件，晶圆抛光组件包括：抛光盘、抛光垫、抛光头以及供液模块；控制器，用于确定晶圆的晶圆属性；根据晶圆属性确定晶圆的晶圆抛光参数；...
    2026-03-28
  • 一种耐氢氟酸腐蚀的半导体研磨刷及其制备工艺
    一种耐氢氟酸腐蚀的半导体研磨刷及其制备工艺_广州傲群新材料有限公司_202512042611.3
    本发明涉及半导体研磨刷领域，具体涉及一种耐氢氟酸腐蚀的半导体研磨刷及其制备工艺，其技术方案是：所述转轴器内安装有内腔套管，所述内腔套管上端连接有第一气压装置；所述冲洗舱下端一侧设置有导气管；所述内置刷头顶面安装有升降管，所述升降管滑动安装在...
    2026-03-28
  • 抛光软垫及其制备方法、以及半导体器件的制造方法
    抛光软垫及其制备方法、以及半导体器件的制造方法_湖北鼎汇微电子材料有限公司_202511720172.0
    本发明涉及一种抛光软垫及其制备方法，以及一种半导体器件的制造方法，该抛光软垫包括第一异氰酸酯、与第一异氰酸酯不同的第二异氰酸酯、聚醚多元醇、扩链剂和补强材料。其中，扩链剂为水合肼；补强材料为三元羟基氯醋树脂与二元氯醋树脂两种组合。此外补强材...
    2026-03-28
  • 一种研磨装置及研磨方法
    一种研磨装置及研磨方法_广东晶科电子股份有限公司_202511971762.0
    本发明公开了一种研磨装置及研磨方法，其中研磨装置包括第一驱动装置、转接座、压座和若干根压杆；所述第一驱动装置与所述转接座连接；若干根所述压杆一端与所述转接座连接，另一端能与所述压座连接；所述压座的一面，用于供工件设置；所述第一驱动装置用于带...
    2026-03-28
  • 基于曲面剂量闭环控制的智能锤击加工设备及控制方法
    基于曲面剂量闭环控制的智能锤击加工设备及控制方法_重庆大学_202511813408.5
    本申请公开了一种基于曲面剂量闭环控制的智能锤击加工设备及控制方法，涉及表面强化与装备控制领域，具体步骤为：获取工件的曲面法向场与危险系数热图；依据所述曲面法向场，控制工具的姿态，使工具轴线与工件的曲面法线之间的夹角被限制在预设范围内；依据所...
    2026-03-28
  • 一种铸件打磨夹紧支撑装置
    一种铸件打磨夹紧支撑装置_天津龙格机器人技术有限公司_202512029241.X
    本发明公开一种铸件打磨夹紧支撑装置，涉及铸件加工技术领域，旨在解决现有技术自适应能力差、协同控制精度低、缺乏实时监测及适配性弱的问题，装置包含铸件信息感知、夹紧参数决策、支撑姿态调控、打磨协同适配、实时监测反馈及中央控制模块，通过感知铸件信...
    2026-03-28
  • 一种合金带材表面抛光加工的联合锁定治具及其锁定方法
    一种合金带材表面抛光加工的联合锁定治具及其锁定方法_丹阳市龙鑫合金有限公司_202610068081.1
    本发明涉及合金带材加工相关技术领域，具体是一种合金带材表面抛光加工的联合锁定治具及其锁定方法, 包括加工台；所述加工台上对称设置有两组定位机构，位于同一侧的两个所述定位机构由设置在所述定位机构上的推送机构控制移动；所述加工台上固定连接由安装...
    2026-03-28
  • 铝基碳化硅超薄反射镜加工区域温度异常监控系统
    铝基碳化硅超薄反射镜加工区域温度异常监控系统_长春电子科技学院_202610078418.7
    本发明涉及异常监控技术领域，具体地说，涉及一种铝基碳化硅超薄反射镜加工区域温度异常监控系统。其包括：热成像感知采集与处理单元对铝基碳化硅超薄反射镜加工区域进行连续热成像采集，并输出温度场；加工区域自适应定位单元基于温度场计算温度空间梯度，并...
    2026-03-28
  • 一种确定气动偏心磨头运行参数的方法及装置
    一种确定气动偏心磨头运行参数的方法及装置_清华大学_202511861668.X
    一种确定气动偏心磨头运行参数的方法及装置，本公开实施例通过多维力传感器实时采集气动偏心磨头的Y向力信号，多维力传感器的Z轴和气动偏心磨头主动转动轴同轴，避免了多维力传感器偏转影响第一振动频率计算的准确度；对采集的存在偶发性噪声的气动偏心磨头...
    2026-03-28
  • 一种法兰进给式磨削加工自动化控制系统
    一种法兰进给式磨削加工自动化控制系统_青岛同荣机电设备股份有限公司_202511591894.0
    本发明涉及自动化控制技术领域，具体为一种法兰进给式磨削加工自动化控制系统，本发明中，通过数据采集与融合模块将磨削力、位移及负载三路信号融合为一个统一的融合信号；指令生成模块则根据此融合信号实时预测出长条法兰的动态变形趋势，并据此协同生成包含...
    2026-03-28
  • 一种打磨抛光过程监测与加工参数自适应调控方法及系统
    一种打磨抛光过程监测与加工参数自适应调控方法及系统_北京知筹汇智科技有限公司_202511679881.9
    本发明涉及工业机器人精密加工技术领域，尤其涉及一种打磨抛光过程监测与加工参数自适应调控方法及系统，适用于金属零部件表面打磨、复合材料抛光、模具型腔精密修整等场景，可实现打磨抛光过程中表面质量实时监测、加工力动态优化、工具轨迹智能调整及加工效...
    2026-03-28
  • 一种基于B轴驱动的刀具结构及其对刀方法
    一种基于B轴驱动的刀具结构及其对刀方法_南京机电职业技术学院_202511733200.2
    本发明公开了一种基于B轴驱动的刀具结构及其对刀方法，涉及刀具结构技术领域，该装置包括安装在B轴上的刀具组件和用于驱动B轴转动的驱动装置；所述驱动装置的一侧设置有支架，所述支架下部安装有吸尘装置，所述支架上部安装有拖板。本发明通过对刀装置校调...
    2026-03-28
  • 研磨液供应系统
    研磨液供应系统_北京大学重庆碳基集成电路研究院_202511640161.1
    本公开提供了一种研磨液供应系统。研磨液供应系统包括：控制器、第一供液子系统和第二供液子系统；控制器控制第一供液子系统处于供液过程时，在需要切换至第二供液子系统供液的情况下，控制器提前控制第二供液子系统执行填充回流过程，使得研磨液填充第二供液...
    2026-03-28
  • 一种排气歧管加工用抛丸设备
    一种排气歧管加工用抛丸设备_西峡县内燃机进排气管有限责任公司_202511982465.6
    本发明公开了一种排气歧管加工用抛丸设备，属于抛丸设备的技术领域，包括箱体和喷丸装置，喷丸装置向箱体内喷射钢丸，箱体的上方固定设置有驱动装置和滑轨组件，滑轨组件上滑动设置有挂钩组件，挂钩组件包括外挂钩和内挂钩。本发明使用时，打开箱体的箱门，驱...
    2026-03-28
  • 一种聚氨酯内衬耐磨防腐管道的制造设备
    一种聚氨酯内衬耐磨防腐管道的制造设备_江苏荣迪管业科技有限公司_202511911416.3
    本发明涉及防腐管道制造技术领域，且公开了一种聚氨酯内衬耐磨防腐管道的制造设备，包括待除锈的金属管，还包括：移动机构，设置于所述金属管的内部，用于在金属管内部轴向移动；调节机构，设置于移动机构上，用于移动机构上，用于调节移动机构抵触在金属管的...
    2026-03-28
  • 一种排气管铸件内腔抛丸装置
    一种排气管铸件内腔抛丸装置_西峡县内燃机进排气管有限责任公司_202511996968.9
    本发明涉及排气歧管内腔抛丸技术领域，尤其涉及一种排气管铸件内腔抛丸装置，包括抛丸箱体和排气歧管铸件，抛丸箱体内中部设置有过滤板，排气歧管铸件的排气法兰通过夹持组件固定在过滤板上，抛丸箱体内部顶面设置有内腔抛丸机构，内腔抛丸机构包括设置于抛丸...
    2026-03-28
  • 一种用于蒸汽发生器管束内部喷丸除垢的一体化喷射结构
    一种用于蒸汽发生器管束内部喷丸除垢的一体化喷射结构_中核武汉核电运行技术股份有限公司_202511774839.5
    本申请属于蒸汽发生器检维修技术领域，具体涉及一种用于蒸汽发生器管束内部喷丸除垢的一体化喷射结构，包括密封圈和小喷枪，密封圈包括基体和位于基体后端的燕尾。基体具有弹性，且用于传热管管口贴合。小喷枪的前端外侧设有燕尾槽和安装内螺纹。燕尾与燕尾槽...
    2026-03-28
  • 空心团聚金刚石微球、金刚石磨具及应用
    空心团聚金刚石微球、金刚石磨具及应用_河南工业大学_202511663074.8
    本发明提供了一种空心团聚金刚石微球、金刚石磨具及应用。所述空心团聚金刚石微球，其主要通过以第一陶瓷结合剂和金刚石微粉为原料，以醇盐为粘结剂、水为溶剂，制备混合均匀的陶瓷浆料；采用离心式喷雾造粒法对所述陶瓷浆料进行造粒处理制备空心团聚金刚石微...
    2026-03-28
  • 一种植绒防尘防堵网格砂及其制作方法
    一种植绒防尘防堵网格砂及其制作方法_东莞金太阳研磨股份有限公司_202511819610.9
    本发明涉及一种植绒防尘防堵网格砂及其制作方法，属于研磨用具技术领域。该植绒防尘防堵网格砂及其制作方法，包括：基层；网格骨架层，所述网格骨架层热压粘接于基层的底面；植绒层，所述植绒层通过静电吸附工艺附着于基层和网格骨架层不重合的底面；磨料层，...
    2026-03-28
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