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  • 本发明申请涉及一种电磁感应线圈与法拉第筒结合的束流检测装置,属于离子注入机技术领域。电磁感应线圈与法拉第筒结合的束流检测装置包括:第一电磁感应线圈、法拉第筒、第二电磁感应线圈、管道、第三电磁感应线圈和第四电磁感应线圈;管道引导带电粒子束流进...
  • 本公开涉及一种涉及半导体器件制造技术领域,提供一种离子注入机的程式生成方法、装置、介质、离子注入机及程序产品。包括:获取操作参数;根据操作参数,从数据库中确定出与操作参数相似的预设操作参数,其中,数据库中存储有多个预设程式,以及每一预设程式...
  • 本发明公开了一种真空离子源刻蚀腔贵重金属回收防污染内衬结构及刻蚀机,属于真空干法刻蚀领域,包括内衬板,以及覆盖于内衬板表面的功能胶层;所述功能胶层的室温弹性模量为0.5GPa~2.2GPa,室温下挥发性有机物含量≤45ppm,耐温范围为常温...
  • 本发明涉及晶圆处理设备技术领域,尤其涉及一种反应腔室及晶圆处理设备,包括石英管、感应线圈、第二屏蔽笼和第一屏蔽笼,石英管设于处理室的顶部;感应线圈环绕设于石英管的外侧;第二屏蔽笼环设于石英管外,第二屏蔽笼上开设有若干个贯穿其侧壁的第二轴向狭...
  • 本申请涉及像增强器技术领域,实施例具体公开了一种自动门控型像增强器声频噪声抑制装置及方法,包括:稳压供电电路模块、微处理器、低压脉冲电路模块、选通门电路模块和阴极输出电路模块,其中,所述稳压供电电路模块的输入端连接2~4VDC电源,输出端输...
  • 一种用于质谱仪的真空进样接口,包括毛细管和加热层,加热层利用三个金属固定件进行首尾两端接地及中间位置连接电极端,通过电阻式电加热的方式间接对毛细管进行加热。或者,一种用于质谱仪的真空进样接口包括毛细管,基于三个金属固定件,使得毛细管的首尾两...
  • 本发明提供一种离子谱仪,涉及空间中低能量离子探测的技术领域,该离子谱仪包括:能谱筛选装置,通过对具有不同能量的多个待测离子束施加第一电场,使得多个待测离子束偏转并允许具有预定能量范围的目标离子出射,能谱筛选装置包括:第一壳体;第一极板,被构...
  • 本发明公开了一种用于气相离子分子反应的激光剥蚀电离源傅里叶变换离子回旋共振质谱仪,包括依次连接的激光剥蚀离子源模块、单聚焦透镜模块、傅里叶离子回旋共振模块、反应气体分子进样模块和反向离子激发系统模块。根据本发明的质谱仪可以由可切换的激光剥离...
  • 本发明涉及质谱分析技术领域,涉及一种磁螺旋飞行时间质谱分析装置及分析方法,装置包括离子光学系统、磁场产生系统、飞行腔体、离子检测器以及计算机控制系统,离子光学系统通过静电偏转器调节离子源在目标磁场系统提供的目标磁场下以目标偏转角度入射至飞行...
  • 本申请涉及一种光电离光强可选四极杆质谱仪及其使用方法。光电离光强可选四极杆质谱仪包括光源腔、主腔体、四极杆质量分析器、光电倍增管、分子泵及光强选择组件;光强选择组件用于选择光强;主腔体包括电离室及分析室,电离室内安装有用于聚焦电离形成的离子...
  • 本发明提供准分子灯。在准分子灯中,对紫外线照射对象物有效地照射紫外线。紫外线照射装置的准分子灯具有放电容器(520)和处理容器(530),对放电容器(520)的电介质(560)设置扩径部(561),对放电容器(520)的放电管(521)设置...
  • 提供一种准分子灯,能够容易地抑制制造工序中的污垢且作业性高。准分子灯的特征在于具备:外侧管,沿管轴方向延伸;内侧管,在所述外侧管的内侧在所述管轴方向上延伸配置;发光管,所述外侧管和所述内侧管在所述管轴方向上的端部被密封而成;发光气体,封入于...
  • 本发明公开了一种激光与电场耦合能量注入的等离子体光源系统及方法,涉及等离子体光源技术领域。其中,激光系统产生激光并聚焦激光至等离子体光源,通过激光为等离子体光源注入能量;在等离子体光源发生器上施加电压,点亮等离子体光源,通过电场为等离子体光...
  • 本发明属于锌负极及水系锌基储能器件领域,公开了一种可伸缩凝胶界面层修饰的锌负极及其制备方法和应用,用以解决锌负极存在的界面锌腐蚀、电化学析氢、锌沉积不均匀等问题。通过(1)将海藻酸钠、聚乙烯醇溶于水中,得到高分子溶胶溶液;然后,向高分子溶胶...
  • 本发明属于水系锌电池领域,具体涉及一种CuNi界面层修饰的锌负极、水系锌离子电池及其制备方法和应用,其中,CuNi界面层修饰的锌负极包括锌基底以及复合在其表面的CuNi界面层,所述的CuNi界面层包括Cu‑Ni固溶合金以及弥散分散在Cu‑N...
  • 公开了制造用于全固态电池的正电极浆料的方法以及使用该方法制造的正电极。该方法包括:制备包括正电极活性物质和固体电解质的第一混合物;向第一混合物添加粘结剂溶液,以对第二混合物执行第一捏合工艺,第二混合物具有被调节至约94wt%至约95wt%的...
  • 本发明公开一种钠离子电池正极材料的制备方法、正极材料和电池,制备方法包括:将金属盐、钠源、掺杂剂进行混合得到第一混合物;将第一混合物在850~1000℃烧结6~18h得到烧结物;将烧结物与包覆树脂进行混合得到第二混合物;将第二混合物在500...
  • 本发明公开了一种水系锌离子电池锌负极的制备方法,属于水系锌离子电池技术领域。本发明将铜粉或银粉作为保护材料,以刮涂法于金属锌表面构建保护层,并用该材料制备水系锌离子电池负极材料。该保护层在电池循环过程中阻止锌负极与水直接接触,抑制电极腐蚀与...
  • 本发明公开了一种超重力强化电池电极浆料的制备方法,涉及锂离子/钠离子电池电极浆料制备技术领域,其特征在于,包括以下步骤:S1:原料预分散,将活性物质、导电剂及粘结剂按比例低速混合;S2:溶剂分步润湿捏合,分批次加入溶剂,先注入部分溶剂进行低...
  • 本申请公开了一种复合材料的制备方法、复合材料及电池,复合材料的制备方法包括步骤:提供包含氢键供体和氢键受体的深共晶溶剂,然后将金属源溶于深共晶溶剂,获得反应前驱液;在惰性气体的氛围下,将硅碳基体和反应前驱液混合反应,以在硅碳基体的表面形成金...
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