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一种掩模版检测卡盘
本发明涉及一种掩模版检测卡盘,涉及掩模版检测装置技术领域, 包括基板和至少两个用于挤压掩模版的夹持组件,所述基板的一侧开设有置物槽,所述置物槽具有四个槽壁,且其中相互垂直的两个槽壁分别为第一夹持面和第二夹持面,所述基板还开设有多个均连通所述...
OPC修正方法、版图及半导体器件
本发明提供了一种OPC修正方法、版图及半导体器件,属于半导体领域。该OPC修正方法包括提供一版图,所述版图包括若干原始图形。在所述第一凹角转角处朝向所述凸角转角的方向内挖,形成凹槽,以获取修正图形,所述凹槽在所述第一边沿第一方向延伸的第一长...
相移掩模及其制备方法
本公开提供了一种相移掩模及其制备方法,属于掩模制备技术领域。相移掩模包括:掩模基底,包括第一表面;相移结构,嵌设于掩模基底内;其中,相移结构的暴露表面与掩模基底的第一表面共面;以及掩模图形,覆盖相移结构的暴露表面的预设区域以及掩模基底的第一...
相移掩膜版图形成方法、装置、计算机设备、存储介质
本申请涉及一种相移掩膜版图形成方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括:获取初始的掩膜版图,掩膜版图包括位于透光区的主图形;基于初始的掩膜版图进行曝光模拟,获取出现旁瓣图形的旁瓣位置区;根据旁瓣位置区,在主图形中确定目...
反射型光掩模坯料和制造反射型光掩模的方法
提供包括基板、多层反射膜、保护膜和具有相移功能的吸光膜的反射型掩模坯料。吸光膜含有钌、钽和氮并且不含氧,且钌含量为80至90原子%、钽含量为5至15量%、氮含量为不大于10原子%,具有38至50nm的厚度和对于为在极紫外范围内的光的曝光光为...
离轴照明光刻掩模及其制备方法、光刻系统
本公开提供了一种离轴照明光刻掩模及其制备方法、光刻系统,可应用于微纳加工与先进光刻技术领域,该光刻掩模包括:掩模基底,包括相对设置的第一表面和第二表面;光刻掩模图形结构,位于掩模基底的第二表面;入光部,位于掩模基底的第一表面,入光部包括多个...
四曝光图像采集方法
本发明公开一种四曝光图像采集方法,属于非接触式图像采集技术,旨在解决现有技术中激光器与相机不匹配、无法同时实现高频与大视野流场测量的问题。该方法所用设备含两组凸透镜、棱锥形反射镜、两组反光镜与图像传感器及光阑,待测物光信号经透镜、光阑后,由...
一种双目摄像头3D显示系统、显示方法及手术显微镜
本发明公开了一种双目摄像头3D显示系统及显示方法,特别的,该系统和现实方法应用于手术显微镜,以实现手术视野的3D显示。该显示系统包括:主眼采集模块、从眼采集模块、图像融合模块和3D显示设备;响应于接收到的时钟同步指令,所述主眼采集模块,将基...
振动喷液3D立体投影方法、装置及系统
本发明涉及立体投影技术领域,提出的振动喷液3D立体投影方法、装置及系统,包括振动喷液模块、投影模块和控制模块。具体工作方式为,所述振动喷液模块喷出液面,并发送振动位置信号给所述控制模块,从而确定当前液面所对应的振动位置,所述控制模块控制所述...
一种正投屏幕及其制作方法
本申请公开了一种正投屏幕,属于投影显示领域,包括表面层和反射层,所述表面层为微结构层,所述微结构层远离所述反射层的一侧为非光滑面;所述微结构层由面胶形成,所述微结构层的厚度为10微米~500微米;所述反射层由粘接胶和反射粒子混合形成,所述反...
悬浮显示设备
本申请公开一种悬浮显示设备,悬浮显示设备包括气囊和投影组件,气囊包括内层囊体和外层囊体,内层囊体用于填充密度比空气密度小的第一气体以提供升力,外层囊体包覆于内层囊体的外周且与内层囊体间隔设置,外层囊体与内层囊体之间的空间用于填充密度比第一气...
一种投影屏幕的制作方法
一种投影屏幕的制作方法,包括以下步骤:S100、裁切分卷:将基膜裁切成宽度为3~15mm的基膜条,分卷;S200、贴条:选定基材,以所述基材的一个方向为基准,在所述基材上依次设定若干所述基膜条的位置,相邻所述基膜条存在间隔距离;在所述基材表...
一种可卷曲的菲涅尔屏幕及其制作方法
本申请公开了一种可卷曲的菲涅尔屏幕,属于投影显示领域,包括微结构层、菲涅尔透镜层和反射层,所述菲涅尔透镜层位于所述微结构层和所述反射层之间;在远离所述菲涅尔透镜层的一侧,所述微结构层呈非光滑面;在远离所述微结构层的一侧,所述菲涅尔透镜层呈齿...
一种用于高亮度投影设备的水冷排散热方法及其系统
本发明涉及投影设备水冷散热设备领域,具体为一种用于高亮度投影设备的水冷排散热系统,包括用于换热与支撑的换热装置,风扇外壳,所述风扇外壳共设有两组,且两组风扇外壳均固定设置在换热装置的前部,风扇外壳的内端面四角均开设有定位孔。本发明为模块化水...
掌子面成像装置及掌子面成像方法
本发明涉及一种掌子面成像装置及掌子面成像方法。此成像装置包括壳体、成像机构、第一防护机构和第二防护机构,壳体设置于刀盘人孔内,壳体具有容纳腔;成像机构包括成像模块和防护玻璃,成像模块容置于容纳腔内,防护玻璃设置于壳体,防护玻璃为透明材质,成...
摄像机及调光模块
一种摄像机的调光模块包括基板与多个调光组件。基板具有镜头设置区。多个调光组件彼此间隔设置并环绕于镜头设置区的周围,各调光组件包括发光单元、导光件及致动件。发光单元包括活动件与发光件,发光件设置于活动件上。导光件具有面向发光件的反射面。致动件...
一种使用碳纤维与聚酰亚胺薄膜复合的超弹超韧机械快门叶片
本发明涉及一种使用碳纤维与聚酰亚胺薄膜复合的超弹超韧机械快门叶片,属于大型光学望远镜的机械快门技术领域。本发明在单层碳纤维布上粘贴聚酰亚胺薄膜材料,或者使用两层碳纤维布将聚酰亚胺薄膜夹在中间,形成三明治结构形式。碳纤维布的纤维走向与叶片边缘...
镜头驱动装置
本发明属于光学影像设备技术领域,具体涉及一种镜头驱动装置,包括:固定壳体;转接壳体,与固定壳体之间设置第一驱动机构,在第一驱动机构的驱动下,转接壳体相对于固定壳体可绕第一方向旋转;活动壳体,与转接壳体之间设置第二驱动机构,在第二驱动机构的驱...
光学模块驱动装置
一种能够提高第一和第二摆动部件之间的连结稳定性的光学模块驱动装置,具备:第一摆动部件,能够保持具有透镜体及摄像元件的光学模块;第二摆动部件,以第一摆动部件能够绕与光轴方向交叉的第一轴线摆动的方式连结于第一摆动部件;固定侧部件,以第二摆动部件...
一种双端泵浦光学参量放大系统
本发明公开了一种双端泵浦光学参量放大系统,包括种子激光器、二向色镜、第一泵浦激光器、半波片、第一平凹镜、周期性铌酸锂晶体、第二平凹镜、第二泵浦激光器、第一平面反射镜和第二平面反射镜。该系统通过双端泵浦结构和循环光路设计,解决了传统单端泵浦光...
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