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  • 本申请公开了一种MEMS电容式传感器及其制备方法。该MEMS电容式传感器包括:衬底,具有在其厚度方向上贯通的背腔;第一电极,第一电极的周向边缘经第一锚层连接衬底,第一电极具有第一子通孔,第一电极和衬底之间具有第一间隙;以及第二电极,第二电极...
  • 本申请公开了一种MEMS电容式传感器。该MEMS电容式传感器包括:衬底,具有第一形状的背腔;以及结构层,具有第二形状的可动电容结构和第一通孔,其中,在厚度方向的投影上,可动电容结构覆盖部分背腔,未被覆盖的背腔位于第一通孔和可动电容结构之间。...
  • 本发明公开了一种水凝胶基手型离电式柔性压力传感器及其制备方法。包括:第一固定层、第一柔性基底层、第一电极层、限域型复合介电层、第二电极层、第二柔性基底层和第二固定层;限域型复合介电层包括支撑层,支撑层上的各个通孔中填充水凝胶,构成水凝胶介电...
  • 本发明公开了应用于传感器领域的一种具有预警功能的柔性传感器及其控制系统,通过自复位阻尼转轴与输送带配合,使传感器本体在移动中能自动倾斜避让电芯表面凸起变形,在移动过程中通过牵引绳驱动活塞板,使储气盒循环向传感器本体表面补充气体,减少有害气体...
  • 本发明涉及传感器技术领域,具体涉及一种高密度混合集成电路型数字式压力传感器,包括直接焊接压力芯体的刚性电路板,所述刚性电路板输出输入端分别电连接有电气连接板;所述刚性电路板和两端所述电气连接板之间设有柔性形变板,所述柔性形变板用于包覆电连接...
  • 本发明涉及传感器结构技术领域,具体涉及一种无引线型压力传感器结构,包括刚挠结合印制电路板,还包括:支撑梁架,包括两端固定连接有环块的两个连接板,所述连接板内侧设有凸耳;所述刚挠结合印制电路板可拆卸安装在所述凸耳上,且所述刚挠结合印制电路板上...
  • 本申请涉及电磁阀制造与质量检测技术领域,公开了一种电磁阀阀芯压制力的在线检测系统,该系统包括复合磁场激励模块、多物理场信号采集模块、多维特征解算模块及力值估计输出模块。本发明通过对阀芯施加复合磁场,并同步采集一个感应电压信号、一个霍尔信号及...
  • 本发明公开了基于弱光栅阵列的分布式光纤温度监测系统多点校准方法。有益效果在于:本发明实现了“测量即校准”的高精度闭环:将校准功能深度集成于测量系统内部,通过离散的绝对温度基准点,实时校正连续的分布式测量结果,确保了从近端到远端全测量范围的精...
  • 本申请涉及基于多探头的测量温度校准技术领域,揭示了一种基于多探头的测量温度校准方法、装置、电子设备及介质,其中,方法包括:通过获取多个探头的温度数据集并计算其标准差,当检测到温度标准差超出预设偏差时,分析数据中的误差类型,并根据不同的误差情...
  • 本发明涉及电器安全监测技术领域,公开了一种电壁炉的过热检测方法及系统,所述方法包括采集初始化基准与实时运行数据,并进行去噪与对齐处理,得到同步运行监测数据;根据所述同步运行监测数据计算理论与实际温升差值,得到热电响应偏差度;对所述同步运行监...
  • 本申请涉及深低温温度测量仪器技术领域,尤其是涉及一种适用于真空绝热设备测温的高精度深低温防爆温度计。其包括保护管,保护管内封装感温芯片,设有穿线孔和绕线槽供引线穿入和缠绕;保护管可包括感温管和连接管;还包括绝热连杆、焊接法兰、插座密封件、插...
  • 本发明实施例提供了一种内部温度确定、相位值温度关系确定方法、装置、设备及介质。方法包括:在设备的运行过程中,根据上一次确定的电池的内部温度所属的温度区间,确定对应的特征频率。获取电池在特征频率下的当前阻抗相位值。然后根据相位值温度关系数据,...
  • 本申请提供一种测温装置及测温系统。测温装置包括外壳、光缆与钢丝绳。光缆包括第一光纤、第二光纤及中保护套。第一光纤的第一中段及第二光纤的第二中段位于中保护套内。第一光纤的第一上段及第二光纤的第二上段位于中保护套的第一侧,第一光纤的第一下段及第...
  • 本发明涉及一种用于变压器顶层油温测量的超声阵列装置及测量方法,它包括超声阵列和计算机处理单元,超声阵列由超声发射单元、超声接收与信号转换单元构成;且超声发射单元作为超声阵列中的发射阵元,用于接收计算机处理单元向其下发的激励参数与阵元延时表;...
  • 本发明公开了一种基于多能量离子注入掺杂SiC晶片的高温测量方法,属于测量测试技术领域。该方法采用具有正面碳膜保护的多能量离子注入掺杂的SiC晶体作为测温元件,在不同测温环境下经历高温后,去除正面碳膜,并利用二次离子质谱(SIMS)分析获得杂...
  • 本发明实施例提供一种基于荧光弧长度的旋转样品温度测量方法,本发明能够通过测量荧光弧长度探测材料的荧光寿命,荧光的寿命与温度存在函数关系,通过探测荧光寿命的变化来实现温度测量,能够提供高精度的温度数据,此外,采用高速旋转的样品,模拟了生产生活...
  • 本发明属于细胞测温技术领域,特别涉及一种纳米金刚石的细胞测温仪的测量方法,包括以下步骤:S1:制备纳米金刚石探针;S2:对细胞样本进行预处理;S3:组装并校准测温系统;S4:进行细胞测温操作。相比起现有技术,本发明通过设置限定纳米金刚石关键...
  • 本发明属于生物医学检测技术与光学检测技术交叉领域,具体涉及一种金刚石荧光的非接触式细胞测温系统及其构建方法,包括硬件系统、信号处理算法和特异性靶向探针。相比起现有技术存在的空间分辨率低、测量时间长、信噪比差及温度误差大等问题,本发明通过设置...
  • 本发明公开了一种超灵敏温度传感系统及其使用方法,包括接收器电路和检测器电路,其中所述接收器电路包括并联的第一电感线圈、第一电阻和第一谐振电容,所述检测器电路包括并联的第二电感线圈、第二电阻和第二谐振电容,其中所述第二电阻包括并联的热敏电阻和...
  • 本发明属于传感器技术领域,公开了一种薄膜电阻温度传感器及其制备方法,该传感器包括基底;薄膜电阻,其设在基底正面,包括电阻区、第一电极区和第二电极区;绝缘保护层,其覆盖薄膜电阻的电阻区;第一导电介质层,其与薄膜电阻的第一电极区连接,并将薄膜电...
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