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  • 本申请提出了一种镀膜设备及镀膜方法, 镀膜方法包括如下步骤:将基片置于真空环境中, 并向真空环境中通入至少一种反应源和第一氧源;通过热丝加热反应源以生成活性基团, 并使活性基团在基片的表面沉积形成金属膜层, 同时第一氧源催化活性基团和残余反...
  • 本发明提供一种匀流组件及立式炉, 涉及半导体加工技术领域。该匀流组件包括进气结构和排气结构, 其中, 进气结构具有进气流道和连通于进气流道的多个进气部, 多个进气部沿第一方向间隔排布;排气结构具有排气流道和连通于所述排气流道的多个排气部, ...
  • 本发明提供一种声波辅助减少腔壁颗粒脱落的方法及其设备, 包括反应腔、喷淋头、承载台及声波发生器, 本发明通过引入声波发生器, 可使得声波在腔壁上产生机械振动, 增强分子的运动和相互扩散, 以形成有序的晶体生长和排列, 促使沉积过程中位于腔壁...
  • 本发明涉及一种用于化学气相沉积的回转炉装置, 包括回转炉体及外部的加热装置, 回转炉体依次包括给料段、反应段和冷却段, 给料段设有尾气过滤器, 用于截留尾气中的固体物料;反应段内设有搅拌装置;反应段与冷却段之间设有布气换热装置, 用于为反应...
  • 本申请提供了一种光学窗口组件、反应装置及光波波段的过滤方法, 涉及集成电路制造技术领域, 本申请将入射窗口设置为中空结构且具有供气体出入的气体通道, 这样当光源依次通过入射窗口和匀光窗口照射至晶圆表面, 驱动晶圆表面发生化学反应时, 将不同...
  • 本发明公开了一种预沉积的工艺设备、工艺方法和双层预涂层。该工艺设备包括:反应腔;第一进气管路组, 用于分别向所述反应腔内通入第一前驱体和第二前驱体, 生成第一预沉积膜层, 以粘附于所述反应腔内壁;以及第二进气管路, 用于向所述反应腔内通入第...
  • 一种环形波导电子回旋共振等离子体化学气相沉积装置, 属于微波等离子体法化学气相沉积领域。装置包括:微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、环形波导、环形石英窗、钨制偏压电极、圆柱形微波谐振腔、测温观察窗口、进气口、排气口、可升降式衬底台...
  • 本发明公开了一种解决印制电路板盲槽渗金的方法, 包括下列步骤:S1, 在沉镍金工艺前, 使用30至50%质量浓度的硫脲除钯剂将印制电路板的盲槽内含钯组分进行反应;S2, 使用等离子清洗机将盲槽内反应后的残留物进行清洁, 清洁温度在20℃至3...
  • 本申请涉及水平沉铜技术领域, 更具体地说, 涉及一种用于PCB水平沉铜的沉铜液及其制备方法, 以水为溶剂, 包括以下浓度的组份:可溶性铜盐15‑30g/L、还原剂10‑30g/L、稳定剂0.45‑0.55g/L、调节剂0.5‑0.8g/L、...
  • 本发明公开了一种软性印刷电路板用化学锡溶液, 属于线路板技术领域。该化学锡溶液包括硫酸亚锡、甲基磺酸、还原剂、硫脲、络合剂、植酸、乙二胺四乙酸二钠、活性剂、氯化镧和氟取代苯并咪唑防护剂。与现有技术相比, 本发明氟取代苯并咪唑防护剂构建的疏水...
  • 本发明属于表面处理技术领域, 涉及一种改性超支化聚合物金属表面处理液及其制备方法, 一种改性超支化聚合物金属表面处理液, 其特征在于, 以质量分数计主要由以下组分构成:超支化聚合物成膜物质分散液10份‑80份;硅烷偶联剂1份‑10份;络合剂...
  • 本发明属于金属表面处理技术领域, 公开了一种化成剂及其制备方法和应用。该化成剂, 包括磷酸、硝酸、磷酸二氢锌、镍盐、锰盐、锌盐、复合有机酸和溶剂;复合有机酸包括柠檬酸、酒石酸和均苯四甲酸;锌盐不包括磷酸二氢锌。本发明的化成剂是一种低温化成剂...
  • 本发明提供一种模切刀钝化液及其使用方法, 钝化液由5%‑10%钼酸盐、0.5%‑2%苯并三氮唑、8%‑15%氨基‑环氧双官能团改性硅油、3%‑8%聚醚分散剂及溶剂组成。通过钼酸盐钝化与唑类吸附的双重缓蚀机制, 在模切刀表面形成致密防护层, ...
  • 本发明涉及金属材料耐腐蚀技术领域, 尤其涉及一种稀土钝化液及其制备方法和应用。本发明提供的稀土钝化液, 包括如下质量份数的组分:成膜剂3~8份, 促进剂10~20份和水70~85份;其中成膜剂为氯化铈和氯化镨;将镁合金置于该稀土钝化液中, ...
  • 本发明提供了一种不锈钢散热装置的钝化方法, 涉及不锈钢表面钝化处理技术领域, 包括以下步骤:准备钝化容器, 放入激光封边后的不锈钢均温板的半成品;向钝化容器2中加入一定量的超纯水, 并使不锈钢均温板的半成品与空气隔离;对钝化容器加热加压一定...
  • 本发明公开了一种增强抗高温耐熔盐腐蚀性能的方法, 属于材料科学与表面工程技术领域。本发明在FeCrAl合金中添加Al2O3和TiC陶瓷相, 采用激光熔覆方法制备陶瓷增强FeCrAl复合涂层, 通过优化其陶瓷相的比例, 使其通过物理屏障效应阻...
  • 本发明提供一种超高速蓝激光熔覆滑动轴承及其制备方法和应用, 该制备方法包括以下步骤:S1.按所需配比将Cu基多元合金粉末和陶瓷颗粒分别混合, 得到不同配比的复合粉末;所述Cu基多元合金粉末, 按质量百分比计包括以下元素成分:65‑75%Cu...
  • 本申请涉及材料加工领域, 具体公开了一种重型工件表面耐磨抗蚀涂层制备装置, 其包括旋转载物台、粉料混合输送装置和多自由度机械臂;多自由度机械臂的自由端设置有激光熔覆头, 激光熔覆头连接于粉料混合输送装置的输出端;旋转载物台包括载物台底座、支...
  • 本发明公开了一种耐磨损耐腐蚀钻杆内涂层涂料及其制备方法, 属于钻杆内涂层涂料技术领域, 该钻杆内涂层涂料包括梯度结构的底层涂料、表层涂料;梯度结构的底层涂料通过激光熔覆技术制备, 梯度结构的底层涂料为金属陶瓷复合涂层材料, 喷涂于钻杆内壁的...
  • 本发明提供一种耐摩擦高熵合金复合涂层及其制备方法, 属于金属表面改性技术领域。本发明以FeCoCrNiMox(0.18≤x≤0.25)高熵合金作为复合粉末的主体成分, 石墨烯作为添加相, 采用激光熔覆的方法在基体表面制备FeCoCrNiMo...
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