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最新专利技术
  • 晶圆载具及炉管沉积设备
    晶圆载具及炉管沉积设备_上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司_202511498729.0
    本申请涉及一种晶圆载具及炉管沉积设备。该晶圆载具包括：支撑组件，包括支撑板以及设于支撑板上环向分布的多根支撑柱，各支撑柱上设有多个沿支撑柱长度方向分布的支撑部，且不同支撑柱上处于同一平面内的各支撑部围成盛放晶圆用的承载区，其中一根支撑柱上的...
    2026-02-13
  • 一种化学气相沉积炉用供气系统及进气方法
    一种化学气相沉积炉用供气系统及进气方法_山西中电科电子装备有限公司_202511664698.1
    本发明一种化学气相沉积炉用供气系统及进气方法，属于化学气相沉积设备领域；解决了炉体反应腔室内待沉积工件的沉积质量低、反应气体利用率低的问题；技术方案：该系统包括气源柜，气源柜内装配有快充进气管路和多路进气主管路，快充进气管路和每路进气主管路...
    2026-02-13
  • 喷淋头及薄膜沉积装置
    喷淋头及薄膜沉积装置_无锡金源半导体科技有限公司_202511748702.2
    本申请涉及半导体加工设备的技术领域，尤其是涉及一种喷淋头及薄膜沉积装置，其包括顶盖，顶盖上设置有进气孔；基座，基座上设置有水平的排气部，排气部上设置有若干第一排气孔；调节板，调节板上设置有若干第二排气孔，第一排气孔与第二排气孔一一对应设置；...
    2026-02-13
  • 承载装置及半导体工艺设备
    承载装置及半导体工艺设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410804514.6
    本申请公开了一种承载装置及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种承载装置，包括：基座组件、多个悬浮轴组件和多个承载件；基座组件包括基座本体和多个转接件，基座本体具有多个承载位和第一通孔；承载件位于承载位上方，且承载件面向承载位一侧设有限位结构...
    2026-02-13
  • 承载舟、电池及其制备方法
    承载舟、电池及其制备方法_润马光能科技(金华)有限公司_202511335469.5
    本申请提供了承载舟、电池及其制备方法。承载舟用于承载基片并置于沉积腔内，承载舟包括舟托本体和隔离挡板；舟托本体包括相对设置的舟托前板与舟托后板，沉积腔内的气流自舟托前板指向舟托后板的排布方向流动；隔离挡板设于舟托前板面向舟托后板的一侧，基片...
    2026-02-13
  • 工艺腔室和半导体工艺设备
    工艺腔室和半导体工艺设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410814821.2
    本申请公开一种工艺腔室和半导体工艺设备，属于半导体加工领域，所述工艺腔室包括腔室本体和加热灯；所述腔室本体内设有承载装置，所述腔室本体包括位于所述承载装置上方和/或下方的透光部，所述加热灯位于所述腔室本体外且位于设置有所述透光部的一侧，所述...
    2026-02-13
  • 一种基板处理腔室及其柔性接地装置
    一种基板处理腔室及其柔性接地装置_中微半导体设备(上海)股份有限公司_202410815055.1
    一种基板处理腔室及其柔性接地装置，柔性接地装置包含多个柔性编织带，柔性编织带的第一端连接至基板处理腔室内的基板支撑件，柔性编织带的第二端连接至基板处理腔室的腔室主体，柔性编织带中的多条带材相互交错缠绕形成编织结构。本发明使用具有编织结构的接...
    2026-02-13
  • 一种氮化硅薄膜的沉积方法及薄膜
    一种氮化硅薄膜的沉积方法及薄膜_物元半导体技术(青岛)有限公司_202511605629.3
    本申请提供了一种氮化硅薄膜的沉积方法及薄膜，该方法包括步骤：S1：提供一硅晶圆并将其置于PECVD设备的真空腔室中，升温至工艺温度；S2：向真空腔室内通入硅源气体和氮源气体，通过控制沉积工艺参数，并通入高频射频功率以激发等离子体，以在硅晶圆...
    2026-02-13
  • 一种在石英玻璃上制备非晶硅薄膜的方法及应用
    一种在石英玻璃上制备非晶硅薄膜的方法及应用_深圳清力技术有限公司_202511104738.7
    本发明公开了一种在石英玻璃上制备非晶硅薄膜的方法及应用，属于非晶硅制备技术领域。本发明通过将石英玻璃片在含硅烷的气体流中进行多次PECVD沉积，得到非晶硅薄膜；每次PECVD沉积后均在保护气体流下进行冷却。所述石英玻璃片放置在硅片上，硅片放...
    2026-02-13
  • 一种低应力化学镀镍液及其制备方法
    一种低应力化学镀镍液及其制备方法_深圳市精诚达电路科技股份有限公司_202511378642.X
    本发明涉及化学镀镍技术领域，具体公开了一种低应力化学镀镍液及其制备方法，本发明提供的化学镀镍液通过配方的优化调整，实现了镍层的均匀沉积，其中氨基磺酸镍提供稳定镍源，还原剂与络合剂配合控制沉积速率，柠檬酸氢钠维持镀液的酸碱平衡，复合添加剂中的...
    2026-02-13
  • 一种球阀球体的表面处理工艺
    一种球阀球体的表面处理工艺_前程控股集团有限公司_202511353788.9
    本发明涉及表面处理领域，具体为一种球阀球体的表面处理工艺；该表面处理工艺包括：将球阀球体经过预处理，得到经预处理的球阀球体；将经预处理的球阀球体经过活化，得到经活化的球阀球体；配置化学镀液，将经活化的球阀球体施镀，得到经化学镀的球阀球体；再...
    2026-02-13
  • 镍基材表面化学镀金液流量自动补偿方法及控制系统
    镍基材表面化学镀金液流量自动补偿方法及控制系统_吉安宏达秋科技有限公司_202511035767.2
    本发明涉及化学镀金技术领域，且公开了镍基材表面化学镀金液流量自动补偿方法及控制系统，包括多维采集模块和智能控制模块。该系统通过多维采集模块获取所有镍基材表面的检测数据、镀金液的检测数据和所有镍基材镀层的检测数据，并分类组成数据集，智能控制模...
    2026-02-13
  • 一种三价铬氧化液耐蚀性增强用添加剂及其制备方法
    一种三价铬氧化液耐蚀性增强用添加剂及其制备方法_中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司_202511350247.0
    本发明公开了一种三价铬氧化液耐蚀性增强用添加剂及其制备方法，属于化学氧化处理技术领域，采用的原料包括：硫酸铬、稀土盐、络合剂、缓蚀剂、γ‑巯丙基三乙氧基硅烷、四乙氧基硅烷和水。本发明中将两种不溶或微溶于水的硅烷，复合成耐蚀性增强用添加剂，加...
    2026-02-13
  • 一种金属板材及其制备方法与应用
    一种金属板材及其制备方法与应用_宝山钢铁股份有限公司_202511735701.4
    本发明公开了一种金属板材及其制备方法与应用，属于钢板技术领域。该金属板材包括金属基板以及设置于金属基板表面的复合纳米结构层；复合纳米结构层中同时含有纳米级的定型结构和纳米级的无定型结构，以原子百分比计，复合纳米结构层中含有10at%~75a...
    2026-02-13
  • 一种提高钢材热浸镀锌表面质量的预镀液及其制备方法与应用
    一种提高钢材热浸镀锌表面质量的预镀液及其制备方法与应用_保定奥琦圣新型金属材料制造有限公司_202511273403.8
    本发明公开了一种提高钢材热浸镀锌表面质量的预镀液及其制备方法与应用，属于热浸镀锌技术领域，所述预镀液的溶质包括金属盐60‑95份、络合剂1‑30份以及表面活性剂1‑10份。本发明提供的预镀液能够明显改善镀层质量，减少漏镀现象，同时能够抑制或...
    2026-02-13
  • 一种三波板钝化装置
    一种三波板钝化装置_山东高速交通设施有限公司_202511657565.1
    本发明涉及钝化装置的技术领域，特别是涉及一种三波板钝化装置，包括钝化箱、涂覆组件、风刀管组件和加热组件，钝化箱的内部设置钝化腔室，钝化箱的两端分别设置进口和出口，涂覆组件安装在钝化箱的钝化腔室左部，风刀管组件安装在钝化箱的钝化腔室的中部，加...
    2026-02-13
  • 一种压铸模具及提高压铸模具寿命的方法
    一种压铸模具及提高压铸模具寿命的方法_上海盖泽激光科技有限公司_202511154083.4
    本发明属于压铸加工技术领域，具体涉及一种压铸模具及提高压铸模具寿命的方法，在压铸模具基体材料表面分区熔覆功能涂层并进行后处理以提高压铸模具寿命，所述熔覆功能涂层包括：在模具基体R角区域(1)熔覆铜基合金，非R角区域(2)熔覆镍基合金或钴基合...
    2026-02-13
  • 一种用于辊套表面激光熔覆的复合装置
    一种用于辊套表面激光熔覆的复合装置_山东山水重工有限公司_202511269167.2
    一种用于辊套表面激光熔覆的复合装置，属于辊套修复设备技术领域，包括底座、电机减速机构、联轴器、固定架、碳刷架、碳刷、三爪卡盘、加热棒、轴承座、脉冲电源、激光熔覆设备、热敏电阻、电压调节器，还具有调节机构和调节电路；电机减速机构、联轴器、固定...
    2026-02-13
  • 一种曳引轮表面强化处理装置及其强化方法
    一种曳引轮表面强化处理装置及其强化方法_吴江瑞诺机械设备加工有限公司_202511292955.3
    本发明属于曳引轮加工技术领域，且公开了一种曳引轮表面强化处理装置及其强化方法，包括底座，所述底座顶端的中部固定安装有主气缸，所述主气缸的顶端安装有调整组件，所述底座的顶端呈轴向等间距固定安装有机架，所述调整组件顶端的中部磁吸连接有熔覆组件，...
    2026-02-13
  • 一种无粘结相TiC基球形激光熔覆粉末及其制备方法
    一种无粘结相TiC基球形激光熔覆粉末及其制备方法_自贡长城表面工程技术有限公司_202511743783.7
    本发明公开了一种无粘结相TiC基球形激光熔覆粉末及其制备方法，属于覆熔粉末技术领域。无粘结相TiC基球形激光熔覆粉末的制备原料包括TiC和复式碳化物M；制备时将TiC和M与成型剂混合，然后进行球磨，得混合料浆；再通过离心式喷雾塔进行干燥制粒...
    2026-02-13
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