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  • 本发明的一种自动化铜箔卷绕镀膜装置及其方法,属于自动化铜箔卷绕镀膜技术领域,包括以下步骤:数据采集:通过非接触式轮廓感测架实时监测铜箔在宽度方向的平整度轮廓,获取实时形貌阵列;误差计算:控制器将所述实时形貌阵列与基于全局基准张力计算的理论悬...
  • MOCVD薄膜沉积装置,涉及薄膜制备技术领域,本发明包括下述部分:反应腔(4),其具有进气口和排气口;左右两个带轮(2),带轮表面设有多个定位槽,用于限制带材位移;反应腔(4)和带轮(2)与安装架连接,所述安装架上还装有带材张紧结构。本发明...
  • 本申请具体涉及一种高纯钨钼合金的制备方法,具体为:步骤S1.除杂预处理:将三甲基钨和二乙基钼分别进行纯化;步骤S2.低温活化处理:将纯化后的三甲基钨和二乙基钼在氢气的辅助下进行等离子活化;步骤S3.混料处理:经过活化后的混合物通入混合装置进...
  • 本发明提供了一种多站式工艺腔及半导体器件的加工设备。多站式工艺腔包括:第一半腔,包括分隔部,其中,所述分隔部包括第一金属环和多块金属挡板,所述第一金属环位于所述第一半腔的中心,所述多块金属挡板环绕所述第一金属环,其第一端连接所述第一金属环,...
  • 本发明提供了氧化铝膜层的制备方法及半导体工艺设备;其中,在氧化铝膜层的制备方法中,获取基底和工艺配方;其中,工艺配方包括至少一个工艺循环,在工艺循环中,首先通入三甲基铝,然后进行第一吹扫,接着通入水蒸气,最后进行第二吹扫;三甲基铝的脉冲时间...
  • 本发明提供了膜层制备方法及半导体工艺设备;其中,在膜层制备方法中,获取基底,并采用原子层沉积技术在基底上进行薄膜沉积;在沉积过程中,按照循环次数生成多个沉积层,并通过多个沉积层形成膜层;其中,在每个沉积层生成后,均执行颗粒清扫步骤,该颗粒清...
  • 本申请涉及一种气体输送装置、方法及半导体工艺设备,该输送装置包括气体管道、螺旋扇叶结构以及弹簧组件;所述螺旋扇叶结构设置在所述气体管道内,用于混合至少两种气体;所述弹簧组件安装在所述螺旋扇叶结构的两端,用于在经过气体流动时发生形变以产生弹性...
  • 本发明涉及负载锁定室系统及其控制方法,提供一种防止颗粒附着并污染基板且提高单位时间的基板供给量的负载锁定室系统及其控制方法,该系统包括预热室,所述预热室包括:预热室外壳,其内部形成有能够与外部隔绝且用于容纳基板的容纳空间;压力调节部,其在所...
  • 本发明提供一种铱钽复合涂层钛阳极及其制备方法,制备方法包括以下步骤:S1.对钛板的表面进行高压喷砂处理,得到钛板一;S2.将钛板一置于有机溶剂中,室温浸泡10‑20分钟后取出得到钛板二;S3.将钛板二置于草酸溶液中,70‑80℃下浸泡80‑...
  • 本发明公开了一种基于静电协同自组装的金属表面防护镀液及其制备方法、处理方法和制品,属于金属材料表面处理与防护技术领域。所述镀液包含至少一种在成膜条件下带负电的第一硅烷、至少一种带正电的第二硅烷、pH调节剂、醇溶剂和水;通过pH调节使两类硅烷...
  • 本发明涉及金属表面处理技术领域,尤其是涉及一种镁合金表面复合膜及其制备方法。本发明提供的镁合金表面复合膜的制备方法,包括以下步骤:将镁合金基体依次进行表面脱脂、酸洗活化、采用第一钝化剂进行第一钝化、采用第二钝化剂进行第二钝化和封孔处理;其中...
  • 本发明公开了一种铝合金表用的免水洗、擦涂型转化液及其使用方法,属于金属表面处理技术领域。该转化液包含氟锆酸4~12 g·L‑¹、氟钛酸2~6 g·L‑¹、磷酸二氢铬2~4 g·L‑¹、羟基乙叉二膦酸1~2 g·L‑¹、锆溶胶1~5 g·L‑...
  • 本发明公开了一种机械摇摆酸洗、磷化排气装置,包括机架、处理槽、篮筐,所述机架的左右两端分别设有摇摆机构,所述机架的后侧设有沿左右延伸的传动轴,所述摇摆机构包括摇摆支座、摇摆杆,所述摇摆支座固定在所述机架上,所述摇摆杆与所述摇摆支座转动连接,...
  • 本发明提供一种锌钢护栏的无铬钝化方法,该方法包括:获取锌钢护栏热镀锌层的平均厚度;根据第一控制公式计算钝化温度;根据第二控制公式计算钝化时间;将锌钢护栏浸入温度为的无铬钝化液中,恒温保持时间;将无铬钝化后的锌钢护栏取出烘干,使锌钢护栏的热镀...
  • 本发明公开了一种基于激光反射域延迟加热的抗汽蚀涂层沉积方法及装置,装置包括工作台、拉瓦尔喷嘴、反射板结构、调节机构和控制监测机构,拉瓦尔喷嘴中心轴线垂直于基板表面,反射板结构,包括一对对称设置的侧向反射板,沿粉末流方向分布,且共同构成一个呈...
  • 本发明提供的高温抗氧化涂层、具有高温抗氧化涂层的增材制造铌钨合金‑Nb521及其制备方法,涉及高温防护涂层技术领域,其中高温抗氧化涂层包括混合涂层粉料和添加剂,所述混合涂层粉料按质量百分数计包括以下组分:MoSi2为3.5‑5.0wt%,T...
  • 本发明提供了一种基于多路异粉切换与能场联动的激光熔覆方法及装置,涉及激光熔覆技术领域,该激光熔覆方法包括以下步骤:在单道激光熔覆过程中,向由激光束形成的熔池中,实时切换或按比例混合输送来自至少三路独立粉源的不同种类金属粉末;对熔池施加辅助能...
  • 本发明提出一种抑制Fe3Al基涂层氢脆裂纹与应力开裂的装置与激光熔覆工艺,装置包括底座与罩体,底座的底部连接加热装置;罩体插接于底座的上方,罩体的顶部开设有开口,罩体的侧壁具有进气口,用于通入惰性气体,罩体与底座之间连接有高度调节装置。本发...
  • 本发明涉及一种同轴激光熔覆设备的熔覆头快换装置及快换方法,包括带光纤的熔覆头上部组件、熔覆头库,带光纤的熔覆头上部组件底部带有机床侧快换组件,机床侧快换组件通过轴运动系统实现其X、Y、Z三个方向的运动,熔覆头库包括旋转组件、直线运动组件、多...
  • 本发明公开了发动机缸体主轴孔修复方法,涉及发动机生产技术领域。包括故障诊断,基于超声波探伤仪检测主轴孔的尺寸精度、表面粗糙度以及是否存在裂纹的内部缺陷,确定损伤程度和位置,得到诊断结果;主轴孔处理,基于诊断结果,去除主轴孔内的油污、铁锈和杂...
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