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一种基片处理方法、基片及等离子体处理设备
本发明公开了一种基片处理方法、基片及等离子体处理设备,其中,本发明的基片处理方法,包括如下步骤:提供一反应腔,所述反应腔内设有一基座;将基片放置于所述基座上;所述基片包括位于所述基片中部的功能区和位于所述基片边缘的边缘区,所述功能区用于容纳...
晶圆翘曲度检测方法及装置、电子设备、存储介质
本公开涉及一种晶圆翘曲度检测方法及装置、电子设备、存储介质,晶圆翘曲度检测方法,包括以下步骤。提供待测晶圆,待测晶圆的一侧表面设有由多层薄膜堆叠构成的目标结构。向目标结构依次入射波段不同的多个检测光,并获取目标结构在各检测光下的反射率。根据...
半导体封装结构的检测方法、模块及半导体封装系统
本发明提供一种半导体封装结构的检测方法、模块及半导体封装系统,包括:步骤1)采集运行参数并结合基准线计算波动值,根据波动值求取工艺波动系数,判断运行参数是否超标;若不超标则执行步骤1),反之执行步骤2);步骤2)基于涂布次数及每次涂布的涂层...
半导体器件及其形成方法、检测方法
本发明提供一种半导体器件及其形成方法、检测方法,通过先执行化学机械研磨工艺获得预定厚度的第一介质层,然后,在化学机械研磨工艺之后进行刻蚀工艺和修边工艺以获得修边台阶,避免了现有技术中先进行刻蚀工艺和修边工艺,再进行化学机械研磨工艺,晶圆边缘...
一种触发型火工点火混合集成电路封装方法及其封装结构
一种触发型火工点火混合集成电路封装方法及其封装结构,属于微电子器件封装技术领域。陶瓷底座本体采用多层陶瓷件与边框烧焊结在一起,陶瓷底座本体底面设置多个电极引脚金属层,电极层表面采用多层复合金属层,表层采用整体镀金结构解决热传导、稳态大电流传...
半导体键合结构及其形成方法
本申请公开了一种半导体键合结构,其包括第一衬底,形成于所述第一衬底上的第一键合介质层,以及至少一个第一键合焊盘,其中,所述第一键合焊盘的第一部分设置于所述第一键合介质层中,所述第一键合焊盘的第二部分突出于所述第一键合介质层的表面形成第一自对...
半导体结构及其制造方法
本公开实施例提供一种半导体结构及其制造方法。所述半导体结构包括:第一基底,设于所述第一基底上的第一键合层,所述第一键合层包括第一介质层和设于所述第一介质层中的第一键合焊垫;第二基底,设于所述第二基底上的第二键合层,所述第二键合层包括第二介质...
轴向引线封装结构
一种用于半导体器件的轴向引线封装结构。该结构包括金属氧化物压敏电阻部件、耦合到金属氧化物压敏电阻部件并包括半导体芯片和耦合到半导体芯片的一个或多个导电凸块的电压抑制部件、耦合到金属氧化物压敏电阻部件的引线框架和耦合到电压抑制部件的另一引线框...
半导体结构及其制备方法、键合结构的制备方法
本申请涉及一种半导体结构及其制备方法、键合结构的制备方法。其中,半导体结构包括:基底,包括布线层;第一介质层,位于基底设有布线层的一侧,且覆盖布线层;互连孔结构,贯穿第一介质层而延伸至布线层,具有关键尺寸不同的至少两个导电互连部;第二介质层...
半导体器件及其制作方法、存储系统
本申请公开了一种半导体器件及其制作方法、存储系统;半导体器件包括基底、第一导线结构以及第二导线结构;第一导线结构设置于基底中;第二导线结构设置于基底中,第一导线结构的长度大于第二导线结构的长度;其中,半导体器件还包括设置于基底中的绝缘结构,...
一种极片、包括其的电化学装置和电子装置
本申请提供一种极片、包括其的电化学装置和电子装置。该极片包括集流体和设置于集流体上的活性材料层,活性材料层包括沿远离集流体的方向依次设置的内层和表面层,表面层包括弹性材料,弹性材料的弹性模量表示为X,单位为MPa,满足:1≤X≤20。其中,...
用于二次电池的正极极片、制备方法以及二次电池
本申请涉及一种正极极片,所述正极极片包括正极集流体以及正极材料层,所述正极材料层设置于所述正极集流体的表面,所述正极材料层包括正极活性材料和第一聚合物。所述第一聚合物的主链是以苯磺酰三氟甲基磺酰亚胺锂为重复单元且主链两端含有端三甲氧基硅烷官...
正极极片的制备方法、正极极片以及二次电池
本发明涉及一种正极极片的制备方法,所述方法包括:S1.将聚合物单体、塑晶化合物、锂盐和引发剂混合,得到前驱体溶液;S2.将正极活性材料、导电剂、粘结剂和溶剂混合,得到正极活性物质浆料;S3.将步骤S1中制备的所述前驱体溶液与步骤S2中制备的...
正极复合材料、其制备方法、二次电池及用电装置
本发明提供了一种正极复合材料、其制备方法、二次电池及用电装置。该正极复合材料包括正极材料本体和包覆在正极材料本体表面的包覆层,包覆层包括锂化有机硫化合物。相比于现有的正极材料,具有上述结构的正极复合材料具有更有优异的电化学性能,制备工艺也更...
负极材料、负极极片、包含其的二次电池及装置
本申请提供了一种负极材料、负极极片、包含其的二次电池及装置。负极材料包括锂金属层和第一保护层,其中,第一保护层包括LiF、LiC
6
和Li
3
N中的至少一种。本申请在锂金属层表面设置第一保护层,第一保...
负极材料及其制备方法、电化学装置和电子设备
本发明公开了一种负极材料及其制备方法、电化学装置和电子设备。该负极材料包括黑磷‑碳复合材料和钠离子;其中,黑磷‑碳复合材料包括黑磷和碳材料;钠离子吸附在黑磷‑碳复合材料的表面和/或内部。将含该负极材料的负极片用于电化学装置尤其是钠离子电池时...
一种高稳定性复合集流体及其制备方法
本发明涉及锂电池技术领域,具体为一种复合集流体及其制备方法。本发明按照摩尔比1:2:2将季戊四醇、磷酸、苯甲酰胺为原料,制备了含有氮、磷元素的阻燃剂,将氮磷阻燃剂引入到聚氨酯预聚体中,再将聚氨酯预聚体和聚酰亚胺前驱体混合制备得到改性粘结剂,...
降低燃料电池系统待机功耗的方法及装置
本发明公开了一种降低燃料电池系统待机功耗的方法、装置、设备及存储介质。该降低燃料电池系统待机功耗的方法,包括:当燃料电池系统唤醒时,检查执行器和/或高压控制器的初始化状态;若该执行器和/或高压控制器的初始化状态为正常,断开该执行器和/或高压...
用于确定水分离器的效率的方法和相关装置
本公开涉及用于确定水分离器的效率的方法和相关装置。该方法包括获取燃料电池系统的排水阀的排水时长,其中排水阀用于排出水分离器分离出的水,其中排水时长基于排水阀在开启状态下的排水结束时刻而确定。该方法还包括获取燃料电池系统的状态参数,其中状态参...
二次尾包装置、叠片机以及叠片工艺
本发明公开一种二次尾包装置、叠片机以及叠片工艺,其中,该二次尾包装置包括隔膜放卷模组、运输模组、裁切模组以及卷绕模组;该二次尾包装置具有第一工位和第二工位;该隔膜放卷模组用于将隔膜输送至第一工位;该运输模组用于将待卷物料从第一工位运输至第二...
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