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  • 用于制备铁电材料薄层的方法
    用于制备铁电材料薄层的方法_SOITEC公司_202480028077.1
    本发明涉及一种用于制备由铁电材料组成的薄单畴层(3’)的方法，所述方法包括在使供体衬底(1)在弱化平面(2)处分裂以形成第一层(3)的步骤与用于精加工第一层(3)的程序之间，对第一层(3)的自由面(8)施加处理以在第一层(3)的表面厚度中产...
    2025-12-22
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