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  • 本发明涉及电子束气相沉积技术领域,涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统,包括:沉积室主体,其内部形成第一腔室和第二腔室,第二腔室位于第一腔室外侧;沉积室主体的侧壁形成连通装载结构的进出料口,以及用以设置电子枪的连接位,进出料口...
  • 本发明涉及电子束物理气相沉积技术领域,应用于航空发动机涡轮叶片热障涂层制备,具体涉及一种大功率电子束物理气相沉积设备的原位辐射加热系统,包括相对设置并形成加热腔的两个加热单元,所述加热单元包括集成了加热元件的壳体,壳体两端设置端盖并通过端盖...
  • 本发明涉及电子束物理气相沉积技术领域,具体涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积控制系统及方法,系统包括:设备层,包括伺服系统,包括至少两处伺服装置,用以交替控制气相沉积室处物料进出;电子枪系统,至少包括两处电子枪模块并对应配置热发射...
  • 本发明涉及电子束物理气相沉积技术领域,具体涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备,包括沉积室系统,其中气相沉积室设置至少两处电子枪连接位,和若干处偏转封闭结构,至少两处偏转封闭结构与电子枪连接位一一对应并用以封闭或开启气相沉积室壁...
  • 本发明涉及一种全角度激光雷达视窗及其制备方法,本发明的全角度激光雷达视窗的制备方法,包括如下步骤:测试圆环Si膜的光学参数及Tooling值、测试圆环SiO2膜的光学参数及Tooling值、设计全角度激光雷达视窗要镀制的滤光膜的膜层结构、在...
  • 本发明公开了一种复合铝箔膜面修复方法,涉及固态电池技术领域,包括以下步骤:将改性氯化聚丙烯置于二甲苯中,超声混匀,将溶液均匀涂覆在基膜表面,60‑80℃烘干,真空干燥1‑2h,得到改性基膜;将改性基膜置于卷绕小车中,设置参数,通入氧气,将蒸...
  • 本发明提供基于三维层流风场技术的大面积钙钛矿薄膜气相沉积制备方法,涉及光纤技术领域,包括:控制所述三维层流风场的方向和流速,使所述前驱体蒸气在层流风场的引导下均匀输送至基底表面,所述基底温度为80‑150℃;在所述基底表面进行钙钛矿薄膜的气...
  • 一种纳米结构表面滴状流降膜蒸发传热管及其制备方法,属于降膜蒸发和纳米结构材料技术领域,包括滴状流降膜蒸发传热管,所述滴状流降膜蒸发传热管外表面具有纳米结构表面,所述纳米结构表面由铜纳米线阵列组成;基于直流电化学沉积法,两步法在铜管外制备铜纳...
  • 本公开提供了一种金属膜层的沉积方法及半导体器件,属于半导体技术领域。该沉积方法包括:提供一金属沉积设备;将所述晶圆置入所述金属沉积设备;通过所述金属沉积设备沉积Ti层;通过所述金属沉积设备沉积AlSi层,在沉积所述AlSi层的过程中,多次执...
  • 本发明公开一种真空处理设备,包括至少两个处理腔,至少两个处理腔共用一套真空系统,所述真空系统包括一真空泵,所述真空泵具有一真空泵口,每个所述处理腔在第一方向上的投影分别与所述真空泵口截面至少部分重合,且重合区域沿所述第一方向上存在贯通气路。...
  • 本发明涉及电子封装先进互连技术领域,特别涉及一种纳米孪晶银铜合金材料及其制备方法。其制备方法包括以下步骤:S1.将基板表面抛光至Ra≤0.04 μm;S2.对基板进行超声清洗,干燥;S3.靶材选用银靶和铜靶,将基板和靶材放入磁控溅射设备中,...
  • 本申请涉及一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用,制备方法包括以下步骤:提供基底;采用电子束蒸发沉积法,使蒸发源材料在基底表面形成沉积薄膜;其中,电子束蒸发沉积法中:反应气体包括氧气,氧气的流量为40sccm~80sccm;对沉积薄膜进行退火处...
  • 本发明涉及玻璃后盖技术领域,具体涉及一种高强度玻璃后盖及其制备工艺,制备工艺包括如下步骤:(1)将表面清洁后的玻璃后盖装入镀膜治具,放入镀膜腔室内,玻璃后盖的外表面具有待镀膜区域;(2)开启泵抽真空及加热装置进行加热,采用物理气相沉积法,选...
  • 一种金属材料表面的钛铜氮复合涂层及其制备方法与应用,该钛铜氮复合涂层的厚度为1.85~1.95μm,Cu元素掺杂量为1.32~1.52at.%,硬度为35‑36GPa,磨损率≤1.703×10‑7mm3/(N·m),H3/E2比值≥0.17...
  • 本发明涉及熔盐腐蚀领域,具体为一种难熔元素合金耐熔盐蒸汽腐蚀层的表面处理方法。该方法包括以下步骤:(1)在难熔元素合金部件表面渗入Si原子和Al原子,在金属表层形成Xn(Si, Al)m复合化合物层,X为难熔元素或其合金;(2)对表面渗入S...
  • 本发明属于金属材料镀覆领域,特别是涉及一种渗层质量可控的低成本气相渗铝工艺。针对铸件表面型壳氧化物污染和工艺灵活性不足等问题,本发明提出一种无需设备改造、成本低且渗层质量可控的气相渗铝方法。采用的渗铝药剂包括主渗剂、气氛调节剂和氢发生剂;主...
  • 本发明公开了一种马氏体沉淀硬化系不锈钢的时效氮化工艺,用盐浴本身去除不锈钢表面钝化膜的特性,实现了时效硬化与表面渗氮的同步进行,低温盐浴时粘度较低,既保证了渗氮过程的顺利进行,又避免了高温对时效硬度的负面影响,不仅解决了钝化膜阻碍渗氮和高温...
  • 本发明提供了一种基于离子注入和离子氮化处理的TC4钛合金表面强化层的处理方法,包括:步骤一、将待涂层TC4钛合金样品抽真空后进行离子注入;步骤二、并通入氢气和氩气的混合气体,开始辉光放电,升温,再保温;步骤三、改变通入氮气、氢气和氩气的混合...
  • 本发明公开了一种基于汽车紧固件的热处理系统,涉及紧固件热处理技术领域。本发明中热处理箱内腔由下至上依次设有喷砂层、吹扫层和热处理层,弹性抵压板底部设有若干六边定位槽,环形承载架上的升降移动部用于将汽车紧固件上推至热处理层,承托台上设有与六边...
  • 本发明提供了一种提高不锈钢基体耐化学腐蚀的镀层及其制备方法,属于镀层材料技术领域。该一种提高不锈钢基体耐化学腐蚀的镀层及其制备方法,包括基体,所述基体的表面喷涂有粘结层,所述粘结层的表面喷涂有过渡层,所述过渡层的表面喷涂有功能层,本发明将基...
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