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  • 一种碳化硅晶圆的制造方法包含以下步骤。在第一碳化硅基材上形成碳化硅磊晶层。使用离子注入工艺在该碳化硅磊晶层中形成热分割层。使用暂时基板粘合碳化硅磊晶层。加热使热分割层分解,而使碳化硅磊晶层分割为上碳化硅磊晶层及下碳化硅磊晶层。对粘合于暂时基...
  • 本发明提供一种刻蚀选择比的测量方法,包括:提供基底,在基底上依次形成设定厚度的第二材料层与第一材料层;对第一材料层进行刻蚀,采集刻蚀反应物或生成物的光谱信号的强度值刻蚀时间;对第二材料层进行次刻蚀,采集刻蚀反应物或生成物的光谱信号的强度值得...
  • 本发明公开了一种基片清洗装置及方法,涉及半导体设备技术领域,一种基片清洗装置,包括:清洗单元,所述清洗单元包括旋转载具和清洗喷嘴,所述旋转载具用于承载基片并带动所述基片旋转,所述清洗喷嘴用于向基片喷射清洗液,以对基片进行清洗;取液单元,被配...
  • 本发明提出一种基板处理装置,包括控制机构;夹持机构;喷头机构;旋转驱动机构;加热机构;以及温度监测机构,包括第一温度监测单元,第一温度监测单元被配置为:在液体喷头沿基板的径向方向由基板中心向基板边缘移动并向基板表面连续喷液的过程中,当液体喷...
  • 本发明公开了一种晶舟及炉管设备,晶舟用于在炉管设备中承载沿竖直方向间隔分布的多层基板,其包括:多个加热器,沿所述竖直方向间隔分布;所述加热器被配置为:当所述晶舟承载所述基板时,所述加热器对所述基板的中部区域进行加热。通过本发明的晶舟能够提高...
  • 本发明揭示一种晶圆夹持装置,包括卡盘基座、多个夹持件、传动轮盘、轮盘驱动件、动力件和第一弹性件;卡盘基座包括承载面板和背板,以及内部空间;传动轮盘用于带动多个夹持件自旋转至打开位置和闭合位置之间的任意位置;用于驱动传动轮盘转动;第一弹性件的...
  • 本申请提供一种半导体器件及存储器系统,半导体器件包括:半导体结构及保护结构,保护结构在第一方向上与半导体结构堆叠;保护结构包括第一保护层、第二保护层及第一应力引导件,第二保护层位于第一保护层远离半导体结构的一侧,第二保护层与第一保护层间隔设...
  • 本申请公开了一种正极极片及其制备方法、电极组件以及电池和用电装置。正极极片包括正极集流体,正极集流体至少一个表面上设置有正极活性层,正极活性层沿长度方向包括多个间隔设置的预定弯折区,正极活性层的至少一个预定弯折区远离正极集流体的表面设置有离...
  • 本发明提供一种锂复合负极及其制备方法和应用。本发明的锂复合电极包括:集流体膜材和附着于所述集流体膜材的至少一个表面上的活性物质层,其中所述活性物质层中的活性物质为金属锂或锂合金,并且所述集流体膜材为满足以下条件的碳纳米管膜:催化剂金属的含量...
  • 本发明实施例涉及一种硅基负极材料及其制备方法和应用,硅基负极材料包括:硅碳基质,以及以原子级别均匀分布在硅碳基质中的掺杂元素;硅碳基质包括多孔碳和均匀分布于多孔碳的孔隙中和表面上的硅;掺杂元素包括:C、N、B、F、S、C l、A l、P中的...
  • 本申请公开了一种钠二次电池和用电装置,所述钠二次电池包括正极活性材料,所述正极活性材料包括钠离子层状过渡金属氧化物,所述钠离子层状过渡金属氧化物中掺杂有R元素,所述R元素包括Ti、Al、Mg、Zr或Zn中至少之一,所述表面选区中R元素占除N...
  • 本申请提出一种电解液添加剂及其应用,其中电解液添加剂包括吡咯烷硝酸盐类化合物,所述吡咯烷硝酸盐类化合物具有式Ⅰ所示的结构:
  • 本申请公开了一种电池单体、电池和用电装置,电池单体包括电解液,电解液包括溶剂,溶剂包括式I所示的氟代醚溶剂,R1为C1‑C5的烷基;R2为C1‑C5的亚烷基;R3为H原子、F...
  • 本申请公开了一种电池单体、电池和用电装置,电池单体包括电解液,电解液包括电解质盐和溶剂,溶剂包括式I所示的氟代磺酰胺类溶剂,R1为C原子数为2至7的氧杂亚烷基,R1与N原子连接形成4至8元环,且R...
  • 本申请实施例提供了一种左手传输线、CRLH移相器、天线以及基站。涉及微波技术领域,左手传输线包括传统右手传输线、第一接地电感、第二接地电感、第一贴片电容、第二贴片电容以及第三贴片电容,第一接地电感与第二接地电感的电感值相同,第二贴片电容与第...
  • 本公开涉及一种安全锁组件、充电口总成和车辆,安全锁组件包括:锁体;固定座,锁体和固定座中的一者设置有安装槽,锁体和固定座中的另一者设置有锁定部;以及锁止件,锁止件安装于安装槽,锁止件能够插入或脱出锁定部,以锁定锁体的移动。通过上述技术方案,...
  • 本发明涉及一种保护接地组件(4、4’),包括保护接地板(5、5’)和保护接地触头(6、6’),其中,所述保护接地板(5、5’)具有平板部(51)以及从所述平板部延伸的两条支腿(52),其中,所述平板部(51)具有用于供所述保护接地触头(6、...
  • 本申请涉及一种垂直腔面发射激光器及其制备方法。垂直腔面发射激光器包括:散热衬底及至少一个发光单元;发光单元包括:外延基础结构,位于散热衬底上;外延基础结构的底层为第一电流扩散层,外延基础结构的顶层为第二电流扩散层;第一电极,位于外延基础结构...
  • 本发明涉及定向耦合器、微环谐振腔、激光频率参考装置及系统。激光频率参考装置包括第一偏振旋转分束器、第二偏振旋转分束器、微环谐振腔、第一光电探测器和第二光电探测器,其中第一偏振旋转分束器被配置为接收TE模式的第一激光并且将TE模式的第一激光输...
  • 一种基于水滴尖端放电的水负离子产生装置及其方法,该装置包括供水组件和负离子水雾产生组件,其中负离子水雾产生组件包括水雾喷射单元和高压发生单元,水雾喷射单元用于将来自供水组件的水喷射出水雾,并且包括接触水的导电体,高压发生单元包括高压电路模块...
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