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最新专利技术
  • 抗蚀剂图案形成方法
    抗蚀剂图案形成方法_信越化学工业株式会社_202510398331.3
    本发明涉及抗蚀剂图案形成方法。本发明提供抗蚀剂图案形成方法；使用非化学增幅抗蚀剂组成物， 将曝光后的抗蚀剂膜用干蚀刻进行显影形成正型或负型的抗蚀剂图案， 该非化学增幅抗蚀剂组成物在使用高能射线的光学光刻中， 感度及极限分辨率优良。一种抗蚀剂...
    2026-01-24
  • 抗蚀剂图案形成方法
    抗蚀剂图案形成方法_信越化学工业株式会社_202510397817.5
    本发明涉及抗蚀剂图案形成方法。本发明提供抗蚀剂图案形成方法；使用非化学增幅抗蚀剂组成物， 将曝光后的抗蚀剂膜利用干蚀刻进行显影来形成正型或负型的抗蚀剂图案， 该非化学增幅抗蚀剂组成物在使用高能射线的光学光刻中， 感度及极限分辨率优良。一种抗...
    2026-01-24
  • 抗蚀剂组成物及图案形成方法
    抗蚀剂组成物及图案形成方法_信越化学工业株式会社_202510397812.2
    本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供在使用高能射线的光学光刻中， 感度及分辨率优良的非化学增幅抗蚀剂组成物， 以及提供使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物， 含有：下式(1)表示的超原子价...
    2026-01-24
  • 抗蚀剂组成物及图案形成方法
    抗蚀剂组成物及图案形成方法_信越化学工业株式会社_202510388329.8
    本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中， 感度、分辨度及LWR优良、稳定且操作也容易的抗蚀剂组成物， 以及提供使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物， 含有由金属原子...
    2026-01-24
  • 一种感光干膜及制备方法
    一种感光干膜及制备方法_江苏双星彩塑新材料股份有限公司_202411729274.4
    本发明公开了一种感光干膜及制备方法， 所述感光干膜， 由PET基膜、中间的感光层以及覆盖在感光层的外侧的保护膜组成， 其中， 所述感光层由如下重量份的原料制备而成：环氧丙烯酸酯树脂40‑50重量份， 纳米粒子复合光引发剂5‑8重量份， 三羟...
    2026-01-24
  • 一种光刻胶组合物
    一种光刻胶组合物_万华化学集团股份有限公司_202410383920.X
    本发明公开了一种光刻胶组合物， 包括对聚合物树脂、光致产酸剂、酸扩散抑制剂、苄基溴化铵化合物、表面活性剂和溶剂本发明的光刻胶组合物可以降低光刻胶在光刻过程中刻蚀部分边缘的粗糙度， 进而提高光刻胶的刻蚀质量。
    2026-01-24
  • 量子点直接光刻的加工方法及其应用
    量子点直接光刻的加工方法及其应用_中国科学院宁波材料技术与工程研究所_202511160766.0
    本发明公开了一种量子点直接光刻的加工方法及其应用。所述加工方法包括：提供量子点母液， 涂覆并挥发溶剂形成光刻量子点湿膜；进行图案化光照得到光刻薄膜；以显影液进行清洗显影， 得到图案化量子点层；其中， 量子点母液中含有量子点和交联剂， 所述交...
    2026-01-24
  • 一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置
    一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置_璞璘科技(杭州)有限公司_202511122473.3
    本发明涉及纳米压印光刻技术领域， 具体是一种气压式纳米压印设备的自动脱模装置， 包括夹持机构、直线升降模块、基底吸盘、翻转轴承及脱模控制机构。夹持机构通过真空吸附固定模板；直线升降模块控制模板与基底的精密间距， 翻转轴承提供0°‑15°倾角...
    2026-01-24
  • 一种光罩最适拆膜温度计算及粘合剂清洗方法
    一种光罩最适拆膜温度计算及粘合剂清洗方法_青岛方益技术有限公司_202511083406.5
    本申请提供一种光罩最适拆膜温度计算及粘合剂清洗方法， 定义光罩与保护膜之间的粘合剂的剥离力在预设温度下与拆膜温度呈线性关系， 预设温度介于20℃～200℃， 常温对应的剥离力为初始剥离力， 当剥离力为初始剥离力的2/3时， 得到拆膜温度为最...
    2026-01-24
  • 基于导向自组装的光罩制造方法及使用该方法制造的光罩
    基于导向自组装的光罩制造方法及使用该方法制造的光罩_张江国家实验室_202410418067.0
    本公开提供一种基于导向自组装的光罩制造方法， 能够以高生产通量制备出高图形质量的先进节点高端光罩。包括：第一及第二光刻图形形成步骤；无规共聚物填充步骤， 涂布无规共聚物以填充第二光刻图形的间隙， 并进行第一退火处理， 使得无规共聚物的上端面...
    2026-01-24
  • 一种辅助图形的添加方法和相关装置
    一种辅助图形的添加方法和相关装置_锐立平芯微电子(广州)有限责任公司_202511189742.8
    本申请公开了一种辅助图形的添加方法和相关装置， 涉及半导体光刻技术领域。该添加方法包括：对原始设计图进行修正， 得到目标设计图；判断目标设计图中的空间相邻的两个图形之间的空间间隔是否大于预设的间隔阈值；若确定该空间间隔小于或等于间隔阈值， ...
    2026-01-24
  • 一种测试图形的选取方法、模型生成方法及装置
    一种测试图形的选取方法、模型生成方法及装置_浙江创芯集成电路有限公司_202510876555.0
    本发明实施例提供了一种测试图形的选取方法、模型生成方法及装置， 包括：获取测试版图；测试版图包括：至少一个候选测试图形；每个候选测试图形基于标签和预设检测框筛选后得到；标签用于标记预期对芯片进行测试的图形， 预设检测框用于提供检测空间， 以...
    2026-01-24
  • 投影屏幕及投影系统
    投影屏幕及投影系统_青岛海信激光显示股份有限公司_202410410731.7
    本发明提供一种投影屏幕及投影系统， 投影屏幕包括显示膜片， 显示膜片包括膜片本体， 膜片本体具有投影受光面和抵接部， 抵接部位于投影受光面的一端；卷筒单元， 卷筒单元包括卷筒本体和补偿部， 至少部分膜片本体卷绕于卷筒本体的周侧， 补偿部连接...
    2026-01-24
  • 一种光引擎装置及投影系统
    一种光引擎装置及投影系统_无锡激擎光电科技有限公司_202510937974.0
    本发明公开了一种光引擎装置， 包括沿同一水平轴线依次布置的第一聚光透镜和光机系统， 第一光束沿水平轴线入射， 第二光束对称于水平轴线分成水平向的2N束， 置于第一光束两侧入射；第一光束和第二光束合光后一起入射至第一聚光透镜处， 经过第一聚光...
    2026-01-24
  • 光源装置、图像投影装置及调整方法
    光源装置、图像投影装置及调整方法_株式会社理光_202510401954.1
    本发明提供能够提高轮辐时间中的光的利用效率的光源装置、图像投影装置以及调整方法。具备 : 第一光源模块， 其包括第一光源和第一荧光体轮， 该第一荧光体轮具有使从第一光源射出的光源光中相互不同的多个波长的光源光射出的多个区域；第二光源模块， ...
    2026-01-24
  • 一种光源、投影设备、车载显示系统和交通工具
    一种光源、投影设备、车载显示系统和交通工具_华为技术有限公司_202410432924.2
    本申请提供了， 一种光源、投影设备、车载显示系统和交通工具， 光源， 包括激光发射单元、荧光发射单元和合束器， 其中：激光发射单元用于向合束器发射沿第一方向传播的激光光束， 激光光束为第一偏振态；荧光发射单元用于向合束器发射沿第二方向传播的...
    2026-01-24
  • 电子装置
    电子装置_卡西欧计算机株式会社_202510414379.9
    投影装置(10)具备包括上表面(20a)、下表面(20b)以及各侧面(20c、20d、20e、20f)的框体(20)， 具有通过上表面(20a)和下表面(20b)这两者与各侧面(20c、20d、20e、20f)的连接部的整周向框体(20)的...
    2026-01-24
  • 一种补光灯
    一种补光灯_沂普光电(天津)有限公司_202511243294.5
    本发明提出一种补光灯， 涉及光学设计技术领域。本发明提供一种补光灯， 包括基板、设置于基板上的发光单元、覆盖于发光单元外部的补光灯罩， 以及位于补光灯罩与基板之间的光学调节组件；光学调节组件包括第一光学组件和第二光学组件， 第一光学组件固定...
    2026-01-24
  • 叶片驱动装置
    叶片驱动装置_尼得科精密部件株式会社_202510407529.3
    本发明提供叶片驱动装置。该叶片驱动装置具有使第1叶片(60)和第2叶片(80)同步动作的连杆部件(50)， 连杆部件(50)具有：第1连杆臂(51)， 其与第1操作长孔(63b)和输出部(97b)连结；第2连杆臂(52)， 其与第2操作长孔...
    2026-01-24
  • 一种光圈可变的摄像头模组和电子设备
    一种光圈可变的摄像头模组和电子设备_盛泰光电科技股份有限公司_202511103356.2
    本发明公开了一种光圈可变的摄像头模组和电子设备， 包括镜头单元、沿光轴设置在镜头单元的入光侧的可变光圈单元以及沿光轴设置在镜头单元的成像侧的成像单元；可变光圈单元包括设置在镜头单元上的底座机构和设置在底座机构上的光圈调节机构， 成像单元包括...
    2026-01-24
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