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  • 本发明公开了智能化真空离子镀膜装备,其技术方案要点是:包括镀膜室,所述镀膜室的顶部安装有真空泵,所述镀膜室的一侧密封固定有门板,所述门板上开设有供机械臂伸入的槽口,所述门板上焊接固定有支撑梁,所述支撑梁内开设有凹槽,所述凹槽内滑动连接有两个...
  • 本发明公开了一种多元热阻蒸发设备,包括生长室以及设置于所述生长室上的抽真空装置,所述生长室连接有氧气源,所述生长室安装有样品台、电子枪、蒸发源;所述样品台包括基片安置盘,所述基片安置盘与所述生长室转动连接,所述基片安置盘上下分别设置有上加热...
  • 本发明涉及镜片真空蒸镀的技术领域,公开了一种可调节蒸镀速率的镜片真空蒸镀头结构,包括操作台,操作台内壁位于加热槽的下方开设有调节槽,加热槽内壁的边缘处等距离安装有多个加热环,加热槽的内壁穿插连接有金属挡块,金属挡块的底部固定设有接触轴,连接...
  • 本发明涉及镀膜装置技术领域,公开了一种离子束辅助的化合物薄膜低缺陷沉积装置,包括气相沉积炉本体,气相沉积炉本体的内部开设有真空腔,真空腔内腔的底部设置有安装座,安装座上对称设置有两组用于固定蒸发舟的固定机构;本发明通过两组固定机构、驱动机构...
  • 本申请提供一种精密金属掩膜板的缺陷检测修复方法和系统。其中的缺陷检测修复方法包括配置至少一个缺陷检测修复单元;在缺陷检测修复单元中,配置协同工作的一个自动光学检测装置和至少两个激光修复装置;在同一个修复单元中,由自动光学检测装置执行如下步骤...
  • 本发明涉及蒸镀技术领域,具体是一种半导体基底反射镜的激光精准蒸镀装置,包括抽真空箱,所述抽真空箱的内壁固定连接有第一隔热间板,所述抽真空箱的内壁固定连接有第二隔热间板,所述抽真空箱的内部底面固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接有...
  • 本发明涉及集成光电器件制造技术领域,具体是一种集成光电器件反射镜的电阻热蒸发精准镀膜设备,包括底座,所述底座的上表面固定连接有真空箱,所述真空箱的内部顶面转动连接有第一齿轮,本发明能够通过第一电机驱动齿轮传动,带动圆筒及防护桶转动,防护桶借...
  • 本发明涉及真空蒸镀设备技术领域,且公开了一种可快速更换蒸发舟的辅助装置,包括底座和基座,还包括:电极分离机构,设置于基座上,用于驱动并推开正电极挡板,以在正负电极之间形成供蒸发舟装配的间隙;顶升定位机构,设置于底座上,用于将蒸发舟顶升并稳定...
  • 本公开至少一实施例提供一种蒸镀组件及其制备方法,所述蒸镀组件包括:金属框架;架设在所述金属框架上的多个支撑掩膜板,其中,相邻的两个所述支撑掩膜板之间具有在第一方向上延伸的间隙;第一金属条,在所述第一方向上延伸以架设在所述金属框架上,且所述第...
  • 一种高韧性涂层及其制造方法,属于涂层领域。该高韧性涂层为纯Cr层,包括基体层和改性区,其中基体层平均晶粒尺寸为0.1μm‑0.8μm,改性区内的平均晶粒尺寸为1μm‑2μm,改性区平均直径为5μm‑15μm,间隔0.5mm‑1.5mm。该高...
  • 本发明属于膜层材料技术领域,提供了一种小应力滞后和大可恢复应变的TiNi/Ag多层膜及其制备方法。本发明的TiNi/Ag多层膜为周期设置的膜层单元;所述膜层单元为依次层叠设置的TiNi层(钛的含量为48~52.5at.%)和Ag层;所述Ti...
  • 本申请涉及一种耐湿度超低磨损类金刚石碳基摩擦副及应用。所述摩擦副的两接触表面分别为超硬四面体非晶碳膜和类金刚石碳基薄膜。通过优选具有含氢(C‑H)或高sp3(C‑C)无氢类金刚石碳基薄膜与超硬四面体非晶碳膜进行配副,在滑动接触表面形成润滑相...
  • 本发明公开了一种涉水紧固件耐腐蚀涂层及其制备方法,该涂层为多层结构,包括设于基体表面的打底层,打底层上面设有过渡层,过渡层上面设有功能层;其中打底层选用与基体元素相容性较好的金属单质与其氮化物,过渡层选用致密性较好的多层TiAlN或多层Ti...
  • 本公开涉及沉积掩模、制造沉积掩模的方法和电子装置。所述沉积掩模包括:掩模框架,限定单位开口;以及隔膜,包括设置在所述掩模框架上的硅层和设置在所述硅层上的无机层。所述隔膜包括设置在所述单位开口上方的单位区域,并且所述单位区域具有多个像素开口。...
  • 本发明公开了一种滚动体零部件的浅渗层碳氮共渗热处理工艺,采用可控气氛的托辊式网带炉连续生产线进行零部件的碳氮共渗处理,步骤依次如下:碳氮强渗、淬火、清洗、低温回火、随炉空冷装筐。本发明采用可控气氛托辊式网带炉连续生产线对滚动体零部件进行浅渗...
  • 本发明公开了一种提高取向电工钢玻璃膜质量及一致性的方法,包括:脱碳渗氮退火升温速率控制为200‑400℃/s;脱碳渗氮退火气氛的分压比P(H2O)/P(H2)控制为0.20‑0.30;脱碳渗氮退火氧含量控制为500‑800ppm;氧化镁涂层...
  • 本发明涉及阀杆的氮化领域,尤其涉及一种避免阀杆氮化变形结构。所述避免阀杆氮化变形结构包括氮化炉、钢丝绳、连接结构和调节结构,氮化炉内部安装有阀杆,阀杆顶端开设有通孔,氮化炉内壁顶端固定连接有横梁,钢丝绳一端安装在横梁中部,另一端安装在阀杆的...
  • 本发明属于热处理技术领域,具体涉及一种风电太阳轮内花键插花键前硬度质量控制方法,包括热处理工艺和冷加工工艺,其中,所述热处理工艺包括依次进行的渗碳、淬火和回火,所述冷加工工艺包括设置在渗碳后、淬火前的半精车工序,所述半精车工序用于减少风电太...
  • 本发明公开了一种在镁及其合金表面制备Mg(OH)2基涂层的一步改性方法,主要包括如下步骤:(1试样表面预处理、(2)高温高压水蒸气转化处理,采用高温蒸汽转化法代替传统水热法,反应原料为去离子水、结晶水合物及去离子水+硬脂酸等,利用高温高压蒸...
  • 本发明涉及等离子喷涂装置技术领域,且公开了一种等离子喷涂装置,该等离子喷涂装置,包括固定头,所述固定头的端部可拆卸安装有阳极套管。该等离子喷涂装置,通过设置有均料模块,可转动的主动导向筒与副导向筒,并在其弧形内表面设置斜条,配合卷簧使得这种...
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