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  • 本发明提供了一种晶圆处理装置,包括外壳体、形成在外壳体内用于处理晶圆的反应腔室、形成在外壳体上与所述反应腔室连通的晶圆输送通道、嵌设在外壳体上与所述外壳体形成一体的闸阀;所述闸阀被配置成开启和关闭所述晶圆输送通道。本发明减短了晶圆输送的路程...
  • 本发明提供一种半导体设备及半导体工艺方法,方法包括:气体升华容器处于预设高压状态时,进入前驱体排压状态,气态前驱体从气体升华容器经第二传输管道从排出管道排出;进入清洁工艺腔室状态,气体从连接管道、后端管道和工艺传输管道排至工艺腔室,直到工艺...
  • 本发明提供一种灯座、加热装置及半导体处理设备。本发明的灯座用于插接加热灯以对加热灯供电,包括:两个绝缘块,并列设置;绝缘块包括第一插接侧面和第二插接侧面,绝缘块的内部设有导电芯;第一插接侧面开有第一插接孔,第二插接侧面开有第二插接孔,导电芯...
  • 本发明公开了一种碱性水电解制氢系统、气液分离装置及其应用,该装置包括:分离塔和自下而上依次设置于分离塔内部的气液分离分布器、洗涤载体、洗涤水分布器、除沫滤网和冷却器;分离塔的下部开设有流体入口和流体出口,分离塔的顶部设置有气体出口;气液分离...
  • 本发明公开了一种电化学还原二氧化碳制乙烯的电极催化剂制备方法,包括以下步骤:步骤1,将导电载体超声分散在分散剂中,形成载体分散液;步骤2,在水浴加热条件下,对步骤1得到的载体分散液进行搅拌,直至混合均匀;步骤3,加入巯基乙胺,均匀分散后,再...
  • 本发明提供了一种电解还原二氧化碳制乙烯的电极催化剂及其制备方法与应用,其中,所述电解还原二氧化碳制乙烯的电极催化剂包括导电载体以及铜基纳米颗粒,所述铜基纳米颗粒负载于所述导电载体上;以导电载体的总重量为100%计,所述铜基纳米颗粒的负载量为...
  • 本发明公开了一种带钢连续电镀边缘罩,其内部腔体包括横断面呈矩形的矩形第一部分以及与矩形第一部分衔接的梯形第二部分,其中梯形第二部分的横断面呈梯形,所述矩形第一部分相较于梯形第二部分更靠近带钢。本发明还公开了一种带钢连续电镀系统,其包括阳极板...
  • 本发明提出一种槽体循环系统、电路板蚀刻和电路板无极/有极电镀方法,槽体循环系统包括槽体、循环泵及固定装置;该槽体具有一隔板,隔板将槽体内的空间分隔成容留空间与暂存空间,该隔板的高度低于暂存空间的槽壁;该容留空间具有出液口,该暂存空间具有入液...
  • 本发明公开一种精密电镀设备,其包括在电镀槽设置一固定式阳极电镀模组、一活动式阳极电镀模组及一作动装置,作动装置能带动活动式阳极电镀模组远离固定式阳极电镀模组,拉开彼此之间的纵向空间间距,得以将阴极挂架的阴极板(基板)放入电镀槽中;其后再由作...
  • 本申请属于半导体设备技术领域,具体涉及一种半导体设备及其进气装置。该进气装置包括进气柱和匀流件,进气柱内具有至少两个进气通道,匀流件包括至少两个进气腔,每一进气通道对应连通一个进气腔;各进气通道均包括第一进气子通道和第二进气子通道;第二进气...
  • 本申请属于半导体设备技术领域,具体涉及一种半导体设备及进气装置。该进气装置包括冷却结构、进气组件以及位于进气组件的底端的气体分配组件,气体分配组件的周向侧壁设有若干分配孔;冷却结构包括:环绕进气组件设置的第一冷却腔、位于气体分配组件底端的第...
  • 本发明涉及洗涤设备技术领域,具体提供一种用于洗涤设备的波轮筋与波轮组件、洗涤设备,旨在解决洗涤设备内的水体无法充分翻转的问题。为此目的,本发明的一种用于洗涤设备的波轮筋组件包括波轮筋主体内部设置有内腔和收集腔,内腔侧面设置有开口,内腔顶部设...
  • 本发明实施例涉及一种衣物处理设备,包括外桶和设置在外桶内的内筒,内筒与外桶之间具有容水间隙;内筒上开设有第一排水口和回水口,第一排水口和回水口均分别与内筒的内腔和容水间隙连通;第一排水口处设置有第一调节件,第一调节件用于打开或关闭第一排水口...
  • 本发明提供了一种帘布裁断系统及帘布裁断系统使用方法。帘布裁断系统,包括:导开装置;裁切装置,裁切装置设置在导开装置的下游,且导开装置靠近裁切装置的一端能够绕裁切装置转动;帘布输送装置,帘布输送装置设置在导开装置靠近裁切装置的一端,导开装置通...
  • 本发明公开了一种织物用有机硅润湿剂,包括以重量百分比计的下述组分:5%~20%有机硅助剂、8%~20%的乳化剂、5%~20%的表面活性剂、1%~6%的分散剂,余量为去离子水。本发明中的润湿剂具备卓越的耐酸碱性、溶解及乳化能力,同时还具备显著...
  • 一种草原风力发电区坡面生态恢复施工方法,涉及生态修复技术领域。步骤为:取项目区域内的土根据项目区域的环境提前进行植物种选择;护坡施工;在网格护坡工程结束后,将选择出的植物种按比例进行人工植被恢复;通过人工生物土壤结皮技术及野外接种技术将选定...
  • 本申请涉及用于自助设备的门锁装置,其包括电磁铁、安装支架以及锁舌组件,其中,电磁铁通过螺栓安装于安装支架上,安装支架上开设有容置孔,锁舌组件通过容置孔活动安装于安装支架上;电磁铁的铁芯前端插设有圆柱销,圆柱销与锁舌组件活动连接,电磁铁通过圆...
  • 本发明提供一种滑动门窗的排水结构,滑动门窗包括固定框、可滑移地安装于固定框的门窗扇、安装于门窗扇的把手锁、装配在门窗扇下端与固定框之间的滑动开闭机构、以及使把手锁和滑动开闭机构联动的联动机构,转动把手锁可使门窗扇上升或下降,从而使门窗扇处于...
  • 本发明属于钻井领域,具体涉及了一种漂浮长度优选方法、系统及设备,旨在解决现有技术选取的漂浮长度精度较差以及存在空气段难以下入的问题。本发明方法包括:获取从通井开始到下钻到底过程中的井场数据并进行筛选,筛选后计算钻头位置和钩载的优化解,将计算...
  • 本发明公开了带压作业机的连接导向装置,用于对举升装置的耳座与工作平台的耳板进行导向,工作平台底部设置有工作窗,耳板固定在工作窗上,包括固定在举升装置两侧的导向架,工作窗底部固定有与导向架相适配的导向柱。采用导向柱和导向架配合导向,先通过第一...
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