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  • 本公开涉及半导体器件。在一个实施方案中,形成该半导体器件包括在半导体基板中形成栅极沟槽。在该沟槽之间的材料的一部分被缩窄,并且另一种材料形成于基本上未被蚀刻剂蚀刻的缩窄部分的侧壁上,该蚀刻剂蚀刻介于沟槽之间的材料部分的材料。源极接触开口和栅...
  • 本发明公开了一种具有电场屏蔽结构的SiC FINFET功率器件及其制造方法,涉及半导体器件制造技术领域,旨在解决FINFET功率器件中纳米级沟槽提升沟道迁移率时引发的三维电场集中问题,包括:第一型的重掺杂衬底;形成于衬底上的第一型漂移区;形...
  • 本发明公开一种半导体结构。半导体结构包含基板、第一阱区、第二阱区、第三阱区、隔离结构、漏极区、源极区以及栅极结构。第一阱区在基板中且具有第一侧表面。第二阱区在基板中且具有第二侧表面。第三阱区在基板中。第二阱区介于第一阱区与第三阱区之间。隔离...
  • 本公开提供了一种半导体器件,该半导体器件包括:衬底;第一阱区和第二阱区,分别位于衬底中,且彼此分隔;高压场板,位于第一阱区上方,与第一阱区电连接,并沿第一阱区朝向第二阱区的方向延伸;以及低压场板,位于第二阱区上方,与第二阱区电连接,并沿第二...
  • 本发明的目的在于,在碳化硅半导体装置中,对阈值电压的变动进行抑制,对阻挡金属处的裂缝的产生进行抑制。碳化硅半导体装置(101)具有:碳化硅基板(11);半导体层(12),其形成于碳化硅基板(11)之上;栅极电极(18),其隔着栅极绝缘膜(2...
  • 本公开提供了一种半导体器件,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决半导体器件电场分布不均匀问题;该半导体器件,包括:衬底、外延层、源极、漏极、栅极和电场调制区;外延层设于衬底上;源极、漏极和栅极嵌设于外延层;电场调制区,设于外延层远离衬底的一侧,...
  • 本发明提供一种垂直扩散金氧半导体晶体管结构及其制造方法,其中垂直扩散金氧半导体晶体管结构包含一基底、一第一导电型外延层、一栅极结构及一第二导电型主体区域。第一导电型外延层配置于基底上。栅极结构配置于第一导电型外延层上,其具有一栅极导电层及一...
  • 本发明实施例公开一种半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括半导体本体,半导体本体包括第一表面、第二表面、阱区、第一区域、第一凹槽和第二凹槽;第一凹槽包括连通的第一子凹槽和第二子凹槽;第二凹槽至少位于阱区和第一凹槽之间;第一绝缘层;屏蔽栅极...
  • 本发明实施例公开一种半导体器件。包括半导体本体,半导体本体包括第一表面、第二表面、阱区、第一区域和第一凹槽;第一凹槽包括连通的第一子凹槽和第二子凹槽;在垂直于第一表面指向第二表面的方向上,第二子凹槽的尺寸大于第一子凹槽的尺寸;沿第一表面指向...
  • 本发明公开了一种半导体功率器件及其制备方法。该器件包括多个呈阵列排布的元胞结构;其中,各元胞结构的边缘一周设置有沟槽栅极结构,沟槽栅极结构包围沟道区域;该器件包括:衬底;第一外延层;第二外延层,设置于第一外延层远离衬底的一侧,第二外延层包括...
  • 本申请提供了一种围合式屏蔽栅场效应管及其制作方法,涉及半导体技术领域。该围合式屏蔽栅场效应管包括硅台面区、屏蔽栅、控制栅以及氧化层,屏蔽栅、控制栅均包围硅台面区设置,屏蔽栅、控制栅以及硅台面区之间均间隔设置,且氧化层填充于屏蔽栅、控制栅以及...
  • 本申请提供了一种半导体结构及其制作方法,其中半导体结构包括依次层叠设置的衬底、沟道层、势垒层和第一P型半导体层,沟道层和势垒层构成异质结,第一P型半导体层耗尽沟道处2DEG、实现增强型器件;在栅极区域的势垒层上方依次设置侧壁对齐的第一P型半...
  • 本申请提供了一种半导体结构,包括依次层叠设置的衬底、沟道层和势垒层,位于栅极区域的P型半导体层用以实现增强型器件;P型半导体层上依次设置结晶层、SiN层和非晶层,结晶层与P型半导体层形成结,阻挡载流子注入,减少漏电流,其次结晶层能增强极化,...
  • 本申请实施例提供的一种半导体结构及其制作方法,其中半导体结构包括依次层叠设置的衬底、沟道层和势垒层,沟道层和势垒层包括栅极区域、以及位于栅极区域两侧的源极区域和漏极区域;第一P型半导体层,第一P型半导体层位于栅极区域、并位于势垒层远离衬底的...
  • 本公开的实施例涉及半导体设备。提供一种宽带隙半导体设备,该宽带隙半导体设备对栅极电极(沟槽)与穿通阻止层之间的错位具有较高的鲁棒性。一种技术概念是,以在建立平面的X方向和Y方向中的Y方向上延伸的沟槽在X方向上以预定间隔被布置为前提,由在建立...
  • 本申请提供一种半导体功率器件的终端结构及其制备方法,半导体功率器件的终端结构包括:衬底层;位于衬底层一侧的外延层,外延层包括有源区和包围有源区的终端区;主结,位于终端区中;场限环,位于终端区中,多个场限环沿有源区至终端区的方向上间隔排布;结...
  • 本发明公开了一种功率半导体器件及其制备方法,其中,功率半导体器件包括:衬底;缓冲层和沟道层,缓冲层位于衬底的一侧,沟道层位于缓冲层远离衬底的一侧;第一势垒层,位于沟道层远离衬底的一侧;阻挡层,位于第一势垒层远离衬底的一侧;第二势垒层,位于阻...
  • 本发明公开一种基于双掩膜的氧化镓薄膜及其生长方法,涉及半导体薄膜技术,针对现有技术中缺乏高质量单畴氧化镓薄膜的问题提出本方案。在衬底上利用第一掩膜以选择图形化缓冲层上的生长区域,并在其上侧向生长ε相氧化镓晶体再愈合;利用第二掩膜隔离混畴部分...
  • 本发明公开一种基于单掩膜的氧化镓薄膜及其生长方法,涉及半导体薄膜技术,针对现有技术中缺乏高质量单畴氧化镓薄膜的问题提出本方案。在衬底上设置缓冲层,并在其上侧向生长ε相氧化镓晶体并愈合;利用阻挡层隔离混畴部分,对外露的单畴部分进行二次生长,得...
  • 本发明公开一种氧化镓基异质结及其生长方法,涉及半导体异质结技术,针对现有技术中缺乏高质量单畴氧化镓异质结的问题提出本方案。在衬底上利用第一掩膜以图形化氧化镓的指定生长区域,并在其上侧向生长ε相氧化镓晶体再愈合;利用第二掩膜隔离混畴部分,对外...
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