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处理装置、处理系统、管理装置、显示方法、记录介质、半导体装置的制造方法
本发明提供处理装置、处理系统、管理装置、显示方法、记录介质、半导体装置的制造方法, 能够向用户通知基板处理装置中的部件的状态和该部件的更换时期。具有控制部, 该控制部使显示部在品质信息的每个判定定时以与时间信息关联起来的状态显示所述时间信息...
基于双环强化学习的铁矿磁选焙烧温度控制方法
本发明涉及一种基于双环强化学习的铁矿磁选焙烧温度控制方法。其包括:构建与目标焙烧炉适配的焙烧温控环路, 焙烧温度控制时, 获取外环运行状态信息, 并利用主炉温度最优控制策略生成与当前外环运行状态信息对应的煤气参考流量;获取内环运行状态信息,...
一种用于压力加热炉的恒温排气系统
本发明涉及半导体制造设备技术领域, 尤其涉及一种用于压力加热炉的恒温排气系统, 它包括加热炉体和保温炉膛, 所述保温炉膛的内腔下端设置有吸附机构, 所述吸附机构的中心设置有与加热炉体外径适配的圆孔, 所述圆孔上设置有多个可活动启闭的活动式炉...
一种工业硅冶炼的烟气净化系统及生产线
本发明为解决现有技术中烟气除尘阶段的过滤风速在0.45m/min以下才能达到最佳的除尘效果, 如果过滤风速过高, 会导致玻纤滤袋系统阻力大, 烟灰无法清理下来的问题, 提供一种工业硅冶炼的烟气净化系统及生产线。本发明涉及工业硅直流炉与交流炉...
熔盐储热调峰系统
本发明提供了一种熔盐储热调峰系统, 涉及储能技术领域, 包括盐浴熔盐组件、熔盐储放热组件以及汽水组件, 盐浴熔盐组件包括多个熔盐槽以及多个熔盐循环管路, 熔盐储放热组件包括低温熔盐罐、高温熔盐罐、储热管路以及放热管路, 汽水组件包括汽轮机以...
一种烧结回转炉余热复合回收结构
本发明涉及余热回收设备技术领域, 具体为一种烧结回转炉余热复合回收结构, 包括回转炉主体、锅炉主体、节能器和烟气处理装置, 回转炉主体排烟管道通过连接管与锅炉主体炉膛连通, 节能器两端分别与锅炉主体烟道和烟气处理装置连接, 烟气处理装置包括...
一种低温韧性Ni-Mo-Cr系钢的热处理炉余热回收装置
本申请涉及一种低温韧性Ni‑Mo‑Cr系钢的热处理炉余热回收装置, 涉及金属热处理技术领域, 包括壳体, 还包括:清理机构, 所述清理机构设置于壳体的内壁中;过滤机构, 所述过滤机构设置于壳体的内壁中;清理口, 所述清理口设置于壳体的底端外...
一种具有余热回收功能的熔炉设备
本发明公开了一种具有余热回收功能的熔炉设备, 包括底座, 所述底座顶部的一侧通过螺栓连接有熔炉, 且熔炉的顶部设置有炉盖, 所述熔炉顶部的一侧开设有通气口, 所述熔炉的一侧靠近顶部的位置设置有排气管, 所述底座顶部的另一侧通过螺栓连接有回收...
抗热震各向同性石墨浸渍预热炉
本发明涉及预热炉技术领域, 具体地说, 涉及抗热震各向同性石墨浸渍预热炉, 其包括定位板, 所述定位板上方呈圆周均匀分布固定连接有若干个用于定位支撑的固定杆, 若干个所述固定杆顶端固定连接有上盖板, 所述上盖板下方设有用于热空气引导的导气组...
一种新型石墨匣钵
本发明公开了一种新型石墨匣钵, 包括带空腔的盒体结构的石墨匣钵主体、分别位于石墨匣钵主体内四角处的四个竖向的三角柱、外侧面和底面分别与所述石墨匣钵抵接固定的十字形隔板;每一三角柱的两侧面与每一石墨匣钵主体的内角的两侧面无缝紧贴, 所述三角柱...
一种炉衬捣打装置及其捣打加工方法
本发明涉及炉衬捣打技术领域, 尤其是涉及一种炉衬捣打装置及其捣打加工方法, 包括环形底板, 所述环形底板的上方固定有支架, 所述支架上安装有电机, 所述电机的驱动端通过转轴固定有多个横导轨, 每个所述横导轨的内侧均滑动连接有滑块。本发明通过...
一种冷壁组件和余热循环利用系统
本申请公开了一种冷壁组件和余热循环利用系统, 该组件包括:石墨结构, 所述石墨结构用于安装在压力容器的外表面的至少一部分;所述石墨模块的内部形成有可流通流体的通道;其中, 所述流体的温度低于所述压力容器内部在进行反应或反应结束后设定时间内的...
一种可调式压力加热炉及其使用方法
本发明涉及半导体制造设备技术领域, 尤其涉及一种可调式压力加热炉及其使用方法, 它包括炉体内的内层框架和外层框架, 以及内外框架之间环绕的加热丝, 所述内层框架上沿侧壁环绕设置有滑槽, 所述滑槽上滑动连接有多个卡座, 所述加热丝上套设有数个...
一种降低煤气消耗的蓄热式加热炉
本发明涉及炉窑技术领域, 特别涉及一种降低煤气消耗的蓄热式加热炉, 包括炉体, 蓄热箱一, 蓄热箱二, 煤气供气总管, 供气支管, 排烟总管和排烟支管, 炉体的两侧均设有蓄热箱一和蓄热箱二, 供气支管通过供气切断阀连接供气导管, 排烟支管通...
一种电、微波加热联用热解装置
本发明提供一种电、微波加热联用热解装置, 包括:炉子主体, 所述炉子主体的表面分别设置有电加热器和微波器, 所述Y形管设置于所述炉子主体的顶端, 所述Y形管的两端均连接有球形漏斗, 所述第一输送管连接于所述炉子主体的顶端, 所述第一输送管的...
焙烧用工具及框架
本发明提供一种焙烧用工具及框架。在此公开的焙烧用工具(1)具备托盘状的框架(10)和配置于框架(10)的上方的耐火网(20)。并且, 框架(10)具备:构成该框架(10)的外形的外框(11)、对外框(11)进行桥接的肋(12)、由外框(11...
基于热碳还原技术的高活性石灰的低氮节能煅烧系统
本申请提供一种基于热碳还原技术的高活性石灰的低氮节能煅烧系统, 属于石灰生产技术领域, 具体而言, 包括:多级悬浮预热单元、悬浮低氮燃烧单元、流化床悬浮冷却单元;流化床悬浮冷却单元包括流化床悬浮冷却炉和两个并联设置的冷却旋风筒, 流化床悬浮...
一种用于石灰煅烧的末级冷却单元及石灰煅烧系统
本申请提供一种用于石灰煅烧的末级冷却单元及石灰煅烧系统, 属于石灰石煅烧技术领域, 具体而言, 包括:悬浮冷却炉, 所述悬浮冷却炉与燃烧分解炉连通, 用于接收经燃烧分解炉煅烧后的物料;所述悬浮冷却炉上设置有气体入口和物料出口, 冷却气体从所...
一种基于熔池炼镁的原料进料装置及方法
一种基于熔池炼镁的原料进料装置及方法, 涉及镁冶炼技术领域。本发明提供一种基于熔池炼镁的原料进料装置, 包括一级进料系统、二级进料系统、关风系统和文丘里射流系统。本发明通过设置关风器引入关风系统, 有效的控制了物料的连续下料速度, 进一步缩...
一种基于惰性气体动态保护的熔铅防氧化方法
本发明公开了一种基于惰性气体动态保护的熔铅防氧化方法, 包括如下步骤:步骤一、预充气体:熔铅炉内通入氮气置换空气, 步骤二、投料熔铅;步骤三、动态气体保护;步骤四、浇筑成型;通过向熔铅炉内部预充氮气, 为后续的熔铅作业创造一个相对低氧的环境...
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