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  • 本公开提供了一种半导体结构、掩模板的图形设计方法及其系统和介质,该半导体结构包括:半导体层,包括具有伪结构区和器件区的管芯;光刻对准标记,位于伪结构区;以及套刻标记,位于伪结构区,并与光刻对准标记相邻,其中,套刻标记的图形生成规则由光刻对准...
  • 本发明的实施例提供了一种用于晶圆边缘的曝光系统以及包含在该曝光系统中的光罩。此光罩包括框架、由该框架包围的开口、位于该框架下方的相位反转层以及位于该相位反转层下方的强度衰减层。相位反转层的内侧壁和强度衰减层的内侧壁暴露于此开口。相位反转层的...
  • 本申请公开了一种基于分段贝塞尔的参数化曲线掩模OPC方法、设备、介质及产品,涉及半导体制造技术领域,该方法包括:对目标图形进行连续传输掩膜优化,得到带有辅助图形的CTM掩膜;再进行水平集优化,得到掩膜版图;对掩膜版图的轮廓抽稀后,用贝塞尔曲...
  • 本发明提供了一种面向曲线式掩膜的光学邻近校正方法及相关设备,从目标布局文件中获取原始掩膜图案,原始掩膜图案包括多段曲线,并对原始掩膜图案进行初始化后提取每段曲线的初始端点,生成端点集;对原始掩膜图案进行仿真,得到梯度图,并基于梯度图得到亚分...
  • 本申请公开了一种光学邻近修正方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:获取待修正版图,待修正版图包括缺陷图形;形成对应待修正版图中缺陷图形的初始缺陷标记;基于初始缺陷标记与缺陷图形,对初始缺陷标记进行区域调整处理,生成目标缺陷标记;基于目标缺...
  • 本发明涉及掩膜版制造,具体涉及一种半色调掩膜版的制作方法,确定光刻机对应的Mark识别精度,第一次光刻时在半色调掩膜版的第一层写上Mark识别精度对应的Mark;第二次光刻时半色调掩膜版上机后先进行Mark识别,并计算第二次需要光刻的图形的...
  • 本发明提供一种应用于照明系统的投影装置及应用于车灯,其包含有电路基板、光源模组以及波长转换元件。光源模组设置在电路基板上,用来输出照明光束。光源模组包含相邻排列的至少一个发光二极管单元以及至少一个激光单元。光源模组的总发光面积系介于0.5平...
  • 本申请涉及显示技术领域,公开了一种光源系统及投影设备,光源系统可以荧光和蓝激光从荧光轮出射后光路分离,蓝激光可以两次经过荧光轮的扩散区进行扩散,能够减少散斑问题,使光斑更均匀;荧光轮为荧光区和扩散区一体式,便于驱动装置驱动,并且可以减小光源...
  • 本申请涉及显示技术领域,公开了一种光源系统及投影设备,光源系统,出射的激光均经过两个复眼进行匀光,可以改善散斑问题,提高投影设备投射的画面的均匀性;同时,光源系统中采用了荧光轮,通过激光混合荧光,可以结合两种光的优势,从而大幅提升人眼舒适度...
  • 本文公开了一种投影设备和投影系统,投影设备包括:壳体,具有第一开口,壳体与第一开口共同形成腔体;成像组件,设置在腔体内以将腔体分隔为第一腔体和第二腔体,成像组件与壳体之间具有连通第一腔体与第二腔体的连通口,第一腔体与第一开口连通;镜头组件,...
  • 本发明涉及“用于相机的组合式可变光圈和快门装置。”各种实施方案包括一种用于相机系统的组合式可变光圈和快门装置。该组合式可变光圈和快门装置可与该相机系统的透镜组件耦接。该组合式可变光圈和快门装置可包括一组或多组叶片,该一组或多组叶片被布置为提...
  • 本发明公开了一种可变光圈及其堆叠式对心组装方法,该可变光圈包括底座组件、叶片转动组件和驱动组件,该底座组件包括底座、线路板和固定支架,该线路板被叠置于该底座的上方,该固定支架包括支架筒体和自该支架筒体的底部向外延伸的外延块,该外延块被叠置于...
  • 本申请属于显示技术领域,具体涉及一种液晶透镜及电子装置,液晶透镜包括层叠设置的第一液晶盒和第二液晶盒,第一液晶盒包括相对且间隔设置的第一衬底和第二衬底、设置于第二衬底朝向第一衬底一侧的第一透镜阵列以及设置于第一衬底朝向第二衬底一侧的第一液晶...
  • 本发明提供能够比以往小型化且降低了光损耗的光合波器、光合波部件、带光调制功能的光合波部件、可见光光源模块、光学引擎及XR眼镜。本发明的光合波器(100)将三个不同的波长的激光进行合波,具备:MMI耦合型光合波部(50),其通过从输入侧将使入...
  • 本公开提供一种能够提高树脂部的表面的平坦性的光调制器。光调制器具备:衬底;第一马赫‑曾德尔调制部,包含设置于衬底上的第一半导体台面部、设置于第一半导体台面部上的第一台面波导、以及设置于第一半导体台面部上的第二台面波导;第二马赫‑曾德尔调制部...
  • 本发明涉及光子集成电路芯片以及对其调制器的监测方法。所述光子集成电路芯片的示例包括:调制器,其包括第一臂、第二臂、以及合束器,其中,所述合束器包括第一光输入端口、第二光输入端口、第一光输出端口以及第二光输出端口,所述第一光输入端口连接至所述...
  • 本发明提供一种微杯型电泳显示器件的微杯矩阵的制备方法,包括:利用光刻机构建具有微杯矩阵结构的模板,所述微杯矩阵结构中相邻的微杯之间具有通道;根据所述模板制备微杯矩阵;在微杯矩阵顶端的微杯开口处,涂敷一层光固化树脂薄膜,用紫外光进行固化封装;...
  • 一种自发光电子纸屏组件,包括:照明层、电子纸功能层,照明层在电子纸功能层之上;电子纸功能层包括TFT层、墨囊层、电极层;照明层包括发光部、透光窗体部、发光部驱动电极部;发光部驱动电极部与透光窗体部相邻排布;发光部包括OLED发光体,所述OL...
  • 本发明专利涉及热致变色超材料技术领域,尤其指一种电致热致双驱动多波长协同调控智能窗及其制备方法。包括导电基底、全固态电致变色器件,导电基底上方为全固态电致变色器件,包括透明导电薄膜、阳极电致变色薄膜、阴极电致变色薄膜、电解质层,导电基底下方...
  • 本发明公开了一种主动式胆固醇液晶显示装置及其公共基板,公共基板朝向胆固醇液晶层一侧设有多个公共电极,阵列基板靠近胆固醇液晶层一侧设有分别与多个公共电极对应布置的多个像素阵列,每个像素阵列包括多个像素单元,每个像素单元包括与相应公共电极对置的...
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