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一种基于ICP多段式蚀刻改善LED芯片均匀性和外观的工艺方法
本发明涉及半导体制造技术领域,具体为一种基于ICP多段式蚀刻改善LED芯片均匀性和外观的工艺方法,包括以下步骤:将待蚀刻的LED外延片置于ICP反应腔室中,并通入蚀刻气体;进行多段蚀刻:启动等离子体,并依次执行至少两个蚀刻阶段,其中,至少两...
一种基于PECVD多段沉积的LED芯片钝化层制备方法及其结构
本发明涉及半导体器件制造技术领域,具体为一种基于PECVD多段沉积的LED芯片钝化层制备方法及其结构,包括以下步骤:提供一表面形成有发光结构和电极的LED芯片衬底;在所述衬底上通过PECVD工艺依次进行三个阶段沉积钝化层:第一沉积阶段,在低...
一种深紫外发光二极管及其优化方法
说明书摘要本发明公开了一种深紫外发光二极管及其优化方法,应用于深紫外发光设备技术领域。本方法包括以下步骤:建立深紫外发光二极管的结构优化器件模型,所述器件的透明衬底的出光表面有衬底纳米阵列,器件的p‑GaN层和/或p‑AlGaN层的表面有p...
一种高亮度LED芯片制备方法
本发明公开了一种高亮度LED芯片制备方法,涉及LED芯片制备方法,包括外延层、P/N台阶、电流阻挡层、透明导电层、金属电极层的制备,本发明通过对透明导电层图形化处理工艺的改变,不仅图形化透明导电层,还图形化P‑GaN欧姆接触层,在保证电流可...
一种用于LED封装的加工装置及方法
本发明提供一种用于LED封装的加工装置及方法,涉及LED封装领域。本发明包括放料桶;所述放料桶上端固接有固定框;所述固定框的顶端中部固定安装有驱动电机;所述放料桶的内部设置有搅拌机构;所述搅拌机构的上端穿过放料桶和固定框并与驱动电机的输出端...
LED芯片组件及其制备方法
本申请公开了一种LED芯片组件及其制备方法,方法包括:提供一外延片,外延片包括衬底和外延层,在外延层上形成反射键合金属层;将反射键合金属层与驱动基板键合,去除衬底;刻蚀外延层,形成多个外延台阶结构;刻蚀反射键合金属层,形成多个与外延台阶结构...
背接触太阳能电池、制备方法、叠层电池和光伏组件
本申请实施例涉及光伏领域,提供一种背接触太阳能电池、制备方法、叠层电池和光伏组件。背接触太阳能电池包括:衬底,衬底具有相对的第一面和第二面,第二面包括交替设置的第一区和第二区,第一区包括第一金字塔结构,第一金字塔结构的塔顶具有凹槽;第一掺杂...
一种光电异质集成的微波发射芯片及其制备方法
本发明涉及半导体器件领域,具体公开了一种光电异质集成的微波发射芯片及其制备方法,该芯片由SiC衬底上的GaN HEMT放大器和InP UTC型探测器组成;制备方法如下:在SiC外延片上制备放大器;在InP衬底上生长UTC型探测器外延层,并制...
太阳能电池及其制备方法、光伏组件及光伏系统
本申请适用于太阳能电池技术领域,提供了一种太阳能电池及其制备方法、光伏组件及光伏系统,包括:硅基底,包括相对的第一表面和第二表面;掺杂层,设于第一表面和第二表面中的至少一个表面;钝化层,设于掺杂层背离硅基底的一侧,包括通孔;种子层,种子层穿...
太阳能电池、光伏组件及光伏系统
本申请适用于太阳能电池技术领域,提供了一种太阳能电池、光伏组件及光伏系统,包括:硅基底、第一钝化膜、及第二钝化膜,硅基底包括相对的第一面、第二面,以及连接第一面和第二面的若干切割面;切割面包括靠近第一面的第一区域和靠近第二面的第二区域;第一...
光感测装置
本发明公开一种光感测装置,其包括第一半导体层、位于第一半导体层上的吸收层、位于吸收层上的第二半导体层、位于第二半导体层上的滤光结构、形成于滤光结构中的开口,以及设置于滤光结构上的电极结构。电极结构通过开口连接于第二半导体层。滤光结构包括相互...
一种氟化镁薄膜晶硅光伏电池及其制备方法和涉电设备
本发明提供一种氟化镁薄膜晶硅光伏电池及其制备方法和涉电设备,属于光伏电池技术领域,所述氟化镁薄膜晶硅光伏电池的结构从下向上依次包括:背面金属电极层、背SiNx钝化层、隧穿poly磷掺杂非晶硅层、N‑si硅基底、P+发射极层、正SiNx钝化层...
太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种太阳能电池及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:在硅片的受光面和/或背光面上制备减反层;采用激光工艺对硅片金属区域上的减反层进行开膜,形成贯穿至硅片表面的若干窗口;对激光工艺后的硅片进行高温烧结;在硅片金属区域上印刷电极浆...
一种硼发射极钝化结构及其制备方法
本发明提供一种硼发射极钝化结构及其制备方法,钝化结构包括硼发射极,所述硼发射极的成分包括硅、硼、碳和氢,所述硼发射极表面设有纳米氧化硅层,所述硼发射极包括电注入区和掺杂区,所述电注入区对应位置设有导电层,所述导电层用于连接金属电极,所述掺杂...
一种磷发射极钝化结构及其制备方法
本发明提供一种磷发射极钝化结构及其制备方法,钝化结构包括磷发射极,所述磷发射极的成分包括硅、磷、氢、碳和/或氮,所述磷发射极表面设有纳米氧化硅层,所述磷发射极包括电注入区和掺杂区,电注入区对应位置设有导电层,所述导电层用于连接金属电极,所述...
一种碳电极全无机钙钛矿太阳能电池的制备方法
本发明属于太阳能电池材料与技术领域,具体涉及一种钝化剂、钝化修饰层及钙钛矿太阳能电池的制备方法, 本发明采用3‑巯基‑1‑丙烷磺酸钠修饰改善电子传输层,特别有效于钝化表面缺陷和界面缺陷,改善了电荷载流子的输运特性,钝化钙钛矿未配位的铅离子和...
电池片及其制备方法、光伏组件
本申请提供一种电池片及其制备方法、光伏组件,电池片的制备方法,包括如下步骤:提供半导体衬底,所述半导体衬底具有相对的第一表面和第二表面;提供导电浆料,在所述半导体衬底的第一表面和/或第二表面涂布所述导电浆料、烧结,形成电极;其中,按照质量百...
太阳能电池片及光伏组件
本申请公开了一种太阳能电池片及光伏组件,属于光伏组件技术领域。所述太阳能电池片包括基底;传输电极,传输电极设置于基底的表面,并与基底电连接,传输电极远离基底的一侧依次设置有多个凸起部,多个凸起部呈阵列排布,相邻的凸起部至少部分连接;凸起部包...
太阳能电池片及太阳能电池组件
本发明揭示一种太阳能电池片,其包括半导体基片及设置于半导体基片的电极结构,电极结构包括多条主栅线和多条细栅线。多条主栅线沿第一方向间隔排布。主栅线包括沿第二方向延伸的主杆和沿主杆间隔设置的若干连接枝。多条细栅线沿第二方向间隔排布。细栅线沿第...
一种超薄硅基太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种能够提高太阳光0.2‑1.2μm全光谱波段的吸收能力,并且能够提高生成效率,降低生产成本的超薄硅基太阳能电池及其制备方法。该超薄硅基太阳能电池,包括超薄硅基底;所述超薄硅基底内设置有ZnO纳米结构阵列;ZnO纳米结构下端设置...
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